PECVD solar grafit båd

SemicorexPECVD solgrafitbådeer præcisionsfremstillet af høj renhedisostatisk grafit. Hver PECVD solgrafitbåd fra Semicorex gennemgår præcis bearbejdning, dimensionsinspektion og elektrisk ydeevnetest for at sikre stabil ydeevne i højtemperaturplasmamiljøer.

Under PECVD-behandling fører PECVD-solgrafitbåden siliciumskiver ind i PECVD-reaktionskammeret og tjener som elektrode forbundet til RF-strømforsyningen. Når en vekselspænding påføres mellem tilstødende bådplader, etableres et elektrisk felt. Under påvirkning af det elektriske felt undergår de reaktive gasser (såsom silan SiH4 og ammoniak NH3) glødeudladning og genererer plasma. Ioner og frie radikaler i plasmaet nedbryder forløbergasserne og danner silicium (Si) og nitrogen (N) ioner. Disse ioner kombineres for at danne siliciumnitrid (Si₃N₄)-molekyler, som derefter aflejres på overfladen af ​​siliciumwaferen for at danne tynde film.

1. Enestående termisk stabilitet

Med en termisk udvidelseskoefficient tæt på siliciumwafers, SemicorxPECVD solcellegrafitbådoplever ubetydelig dimensionsændring ved opvarmning, hvilket pålideligt undgår termisk spændingsinduceret skade på skiverne.

2. Overlegen elektrisk og termisk ledningsevne

Semicorex PECVD solgrafitbåde har fremragende elektrisk ledningsevne, hvilket sikrer hurtig ledning af RF-strøm og ensartet elektrisk feltfordeling, hvilket er gavnligt for stabil plasmagenerering og ensartet siliciumwaferaflejring. Derudover letter dens overlegne termiske ledningsevne hurtig afkøling og opvarmning, hvilket forbedrer produktionseffektiviteten, samtidig med at lokal overophedning forhindres i at påvirke aflejringskvaliteten.

3. Stærk kemisk stabilitet

Takket være brugen af ​​førsteklasses materiale er Semicorex PECVD solgrafitbåd mindre tilbøjelig til at reagere med de reaktive gasser og plasma. Denne egenskab forhindrer markant ujævn fordeling af elektriske felter forårsaget af korrosion, deformation eller aflejring af urenheder i grafitbåden, hvilket sikrer stabiliteten af ​​aflejringsprocessen og overfladekvaliteten af ​​siliciumskiver.

4. Fremragende mekanisk styrke

Med sin enestående mekaniske styrke kan Semicorex PECVD solgrafitbåd let håndtere vægten af ​​højvolumen waferbelastninger. De kan modstå den mekaniske belastning, der genereres under lastning og transport i lang tid uden let at deformeres eller gå i stykker.

5. Fremragende dimensionel konsistens

Semicorex PECVD solgrafitbåd opnår enestående dimensionel nøjagtighed på tværs af alle komponenter gennem præcisionsbearbejdning. Det holder siliciumwaferen i en fast position under deponering, hvilket sikrer ensartet deponering og kompatibilitet med automatiseret produktion.