Kvarts ovnrør

2.Lavtemperaturdele er kvartsringe i ætseproces, og inklusive kassetter, rensetanke i renseproces. De bruges hovedsageligt i lavtemperaturmiljøer, som hovedsageligt er lavet af smeltet kvartsglas, fremstillet ved kold behandling.kvartsmaterialel. Kvarts er meget udbredt i halvlederindustrien, højrent kvarts er det vigtige forbrugsmateriale i waferfremstilling. Det vigtigste målmarked for kvartsdele i halvlederområdet er diffusions- og ætsningsprocessen i waferfremstilling, kan opdeles i to hovedkategorier: højtemperaturdele og lavtemperaturdele.

1.Højtemperaturdele er kvartsovnsrør, waferbåd, bådholder osv. De skal direkte eller indirekte komme i kontakt med siliciumwafer i højtemperaturmiljø, er hovedsageligt lavet af smeltet kvartsglasmateriale, produceret gennem termisk behandling.

2.Lavtemperaturdele er kvartsringe i ætseproces, og inklusive kassetter, rensetanke i renseproces. De bruges hovedsageligt i lavtemperaturmiljøer, som hovedsageligt er lavet af smeltet kvartsglas, fremstillet ved kold behandling.

Komponenter i højtemperaturzonen forbruges hurtigere, men de bruges typisk i multi-wafer-systemer (en bærer med flere siliciumwafers), mens komponenter i lavtemperaturzonen forbruges langsommere, men de bruges i single-wafer-systemer (én bærer med en siliciumwafer); derfor er den samlede markedsstørrelse for begge relativt ens.

Ovnen er det område, hvor waferne gennemgår en højtemperaturopvarmningsproces, består af kvartsovnsrør, reaktor og flere varmelegemer, den anvendes i vid udstrækning i diffusions-, oxidations-, RTP-processer i halvlederbehandling. Ovnen er hovedsageligt opdelt i vandrette og lodrette typer:. I en horisontal ovn placeres wafers på en kvartsbåd, som igen placeres på en SiC-bærer. Der er også adaptive bafler foran og bagpå. Bæreren skubbes ind i kvartsovnsrøret, og waferne gennemgår reaktionen i en konstant temperaturzone. I en lodret ovn placeres wafers på et kvartstårn og hæves derefter langsomt ind i kvartsovnsrøret til forarbejdning.

På grund af de høje temperaturer, der er involveret i de ovennævnte processer, bør der for at forhindre alvorlig deformation og sammenbrud af kvartsovnsrøret efter gentagen og langvarig brug anvendes et kvartsovnsrør, der er modstandsdygtigt over for deformation og kollaps og har en lang levetid under produktionen.

Her er fordelene vedkvartsovnrør:

1. Høj temperatur modstand. Kvartsglas har et blødgøringspunkt på cirka 1730 ℃ og kan bruges i længere perioder ved 1150 ℃, med en kortvarig maksimal temperatur på 1450 ℃.

2. Korrosionsbestandighed. Bortset fra flussyre reagerer højrent kvarts næsten ikke kemisk med andre sure stoffer. Ved høje temperaturer kan den modstå korrosion fra svovlsyre, salpetersyre, saltsyre, aqua regia, neutrale salte, kulstof og svovl. Dens syrebestandighed er 30 gange højere end keramik og 150 gange rustfri stål.  Dens kemiske stabilitet, især ved høje temperaturer, er uovertruffen af ​​noget andet ingeniørmateriale.

3. God termisk stabilitet. Kvarts med høj renhed har en ekstrem lav termisk udvidelseskoefficient og kan modstå drastiske temperaturændringer.  Opvarmning af højrent kvarts til omkring 1100 ℃ og derefter nedsænkning i stuetemperaturvand vil ikke få det til at splintre.

4. God lystransmission. Kvarts med høj renhed har god lystransmissionsydelse over hele spektret fra ultraviolet til infrarødt. Transmittansen for synligt lys er over 93 %, og i det ultraviolette spektrum kan den maksimale transmittans nå over 80 %.

5. God elektrisk isoleringsevne. Resistiviteten af ​​kvarts med høj renhed er ti tusind gange højere end almindeligt kvartsglas, hvilket gør det til et fremragende elektrisk isoleringsmateriale, der har gode elektriske egenskaber selv ved høje temperaturer.