Semicorex stiv grafitfelt er et højtydende termisk isoleringsmateriale fremstillet af pan-baseret og viskosebaseret kulfiber, der er vidt brugt i industrielle ovne med høj temperatur. Vælg Semicorex for sine avancerede fremstillingsprocesser og bevist ekspertise i levering af holdbare og pålidelige løsninger til krævende halvlederapplikationer.*
Stiv grafitfelt kan dannes af blød filt lamineringshærdning og vådformning. Den almindelige lamineringsmetode til fremstilling af carbonfiber grafit hårdt følte, at blødt følte sig som råmateriale. Produktionsprocessen starter med at skære: Skæring af flere stykker emner, der er lidt større end den sidste hårde filtstørrelse fra den bløde filt. Efter skæring er det imprægneret med harpiks og andre bindingsmaterialer, og de imprægnerede emner er stablet i flere lag i henhold til den krævede hårde følte tykkelse.
Imprægnering i blød filtproduktion er hovedsageligt imprægnering med katalysatorer for at gøre viskosefibre mere stabile i efterfølgende varmebehandling; mens imprægnering af stiv grafitfelt hovedsageligt er imprægnering med termohærdende harpiks. I den efterfølgende opvarmnings- og hærdningsproces størkner den flydende harpiks, og de flere lag af blød filt kombineres tæt med harpiksen til dannelse.
Harpiks + carbonfiber grafit Soft Felt giver materialet mulighed for at opnå effekten af "1 + 1> 2" i nogle egenskaber. Efter opvarmning og hærdning kan den flerlags bløde følte følte sig imprægneret med harpiks ikke længere rulles op som blød filt, og materialets densitet og trykstyrke øges også.
Under PVT -væksten af enkeltkrystaller spiller kulfiber følte en rolle i varmebeskyttelse. Renheden af stiv grafitfelt er afgørende for den vellykkede vækst af SIC -krystaller. Urenheder i isoleringens filtmateriale er en af kilderne til urenhedskontaminering under vækstprocessen. Indholdet af centrale urenhedselementer i carbonfiber-filten styres under 10-6, og det samlede askeindhold skal kontrolleres strengt. I henhold til patentet vedtager det forskellige metoder med høj temperatur multi-trins rensning af behandlingsmetoder ved anvendelse af flere gascirkulationstrin i hvert trin for at omdanne urenheder med høj smeltende punkt til lavt smeltende punktforbindelser, og udladningsforurenhedsgasser, og til sidst opnås med høj renhed, hvis askeindhold er mindre end 20 mg · kg, og al, B, Fe, V er mere end 0,1 mg · kg.
Stiv grafitfelt har også nøgleteknologier til strømning af flowfelts ensartethed, herunder temperaturfelt og gasstrømningsfelt ensartethedskontrol. Temperaturfeltet er ensartet i den enkelte krystalovn ved at designe temperaturkompensationsområder, multi-zone uafhængig temperaturstyring og ændre formen og layoutet af varmelegemet.