Semicorex Stiv isolering er en høj ydeevne kort fiber hårdt filt, specielt udviklet til termisk styring i epitaxy-udstyr. Valg af Semicorex betyder at vælge bevist ekspertise, premiummateriale og tilpassede løsninger, der sikrer den højeste renhed, pålidelighed og effektivitet for dine halvlederfremstillingsprocesser.*
Semicorex Stiv isolering er specielt designet til SIC-epitaksialproces med unik samlingsstruktur, høj resistivitet, gnistforebyggelse og god termisk isoleringsydelse. Den stive isolering er en termisk barriere med høj ydeevne, der er fremstillet af premium korte keramiske fibre. Denne stive isoleringsmateriale er konstrueret i en hård filtstruktur og kombinerer fremragende mekanisk styrke med overlegne termiske isoleringsegenskaber, hvilket gør den ideel til de krævende forhold inden for halvlederproduktionsmiljøer.
Halvlederkvalitets-silicium og siliciumcarbid skal normalt tilberedes i et miljø med høj temperatur ved hjælp af specifikke instrumenter, såsom enkeltkrystall-siliciumtrækningsovne og siliciumcarbid-krystalvækstovne, og der er flere strenge krav til forberedelsesmiljøet. For eksempel vedligeholdelsen af præparationstemperaturen og reduktionen af ekstern urenhedsinterferens. Af denne grund blev en termisk isolering, der føltes vævet af kulfiber med høj renhed, til at blive, og med dens fordele ved let støbning, ikke let at bryde, stærk termisk isoleringsydelse og lavt urenhedsindhold, blev det et ægte "varmt tøj" før fødslen af halvledere.
Ved hjælp af pan-baseret carbonfiber-filt og viskose-baseret carbonfiber føltes som råmaterialer, fremstilles stiv isolering gennem processer såsom blødgøring, binding, hærdning, varmebehandling og bearbejdning. Det er vidt brugt i udstyr med høj temperatur såsom pulvermetallurgi industrielle ovne, vakuumsintringovne, fotovoltaiske enkeltkrystallovne, polykrystallinske ovne og halvlederkrystallvækstovne. Det har god trykmodstand og fremragende termisk isoleringsydelse. Sammenlignet med blød filt har stiv isolering fordelene ved let installation, stabil størrelse, dæmpning af lav termisk isolering og lang levetid.