Halvleder-kvalitet kvarts diffusionsrør

Semicorex kvartsdiffusionsrør af halvlederkvalitet er de væsentlige kvartskomponenter, der har til formål at give et rent og stabilt reaktionsrum til fremstilling af halvlederwafer. Med sine omfattende og dokumenterede fremstillingsevner kan Semicorex give vores værdsatte kunder yderst kompatible, specialdesignede kvartsdiffusionsrør i halvlederkvalitet.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Kvartsbådebruges normalt under høje temperaturer, hårde kemiske korrosionsforhold. Under operationen anbringes halvlederskiver i kvartsbåden og indsættes i kvartsdiffusionsrøret. Når diffusionsrøret når den krævede temperatur (flere hundrede til flere tusinde grader Celsius), indføres procesgasser (f.eks. O₂, N2, H₂, Ar) og dopinggasser (f.eks. POCl3, BBr₃) i kvartsdiffusionsrøret gennem gasporte for at udføre diffusions- og oxidations- semi-ledningsforbindelsen. For at forbedre diffusionsensartethed og nøjagtighed skal nogle diffusionsprocesser desuden udføres i et lavtryksmiljø.

I avancerede halvlederfremstillingsprocesser kan enhver lille fejl eller mangel i disse processer føre til fejl i efterfølgende processer. Derfor, som afgørende dele af halvlederfremstilling, er kvaliteten af kvartsdiffusionsrør betydeligt vigtig og påvirker direkte udbyttet og ydeevnen af halvlederenheder.

Specifikationerne for Semicorex Halvleder-kvalitet kvarts

Semicorex halvleder-kvalitet kvarts diffusionsrør er omhyggeligt fremstillet af høj kvalitetkvarts i halvlederkvalitetmateriale. Følgende er dens specifikke parametre:

Parametrene kan tilpasses efter kundens krav.

Ydeevnen af Semicorex Semiconductor-Grade Quartz Diffusion Tubes

Stoler på vores erfarne forarbejdningsteknologi og pålidelige materialevalg, Semicorex semiconductor-gradekvarts diffusionsrørdemonstrere overlegen ydeevne under de udfordrende driftsforhold:

1. Høj temperatur modstand ydeevne

Semicorex halvleder-kvalitet kvarts diffusionsrør leverer bemærkelsesværdig høj temperatur modstand, som gør dem i stand til at fungere stabilt i høj temperatur miljøer op til 1200 ℃ uden nogen form for deformation eller beskadigelse.

2. Termisk stabilitet ydeevne

Med en exceptionel termisk udvidelseskoefficient er Semicorex kvartsdiffusionsrør i halvlederkvalitet i stand til at modstå termisk stress under hurtig opvarmning eller afkøling uden let at revne eller deformeres.

3. Kemisk resistens ydeevne

Semicorex kvartsdiffusionsrør i halvlederkvalitet leverer overlegen kemisk inerthed i barske korrosive miljøer med høje temperaturer. Denne ydeevne forhindrer i høj grad de forurenende stoffer, der genereres fra deres reaktion med procesgasser, i at påvirke waferkvaliteten.