Halvlederkvartscrucibles

Semicorex Semiconductor Quartz Crucibles er forbrugsmæssige produkter i halvlederindustrien specifikt til de kvartscrucibles, der bruges i krystaltrækprocessen med silicium enkelt krystalfremstilling. De er fremstillet af ultra-pure smeltet kvarts, der tilfredsstiller renlighed, homogenitet og varmemodstand og fremstilles for at imødekomme de høje krav fra moderne halvlederfremstilling. De er vigtige for Silicon Ingot -specifikationen, fordi deres attributter direkte påvirker skivens ydeevne og udbytte i integreret kredsløbsbehandling.

Fra et termisk og fysisk synspunkt: Kvartscrucibles kan modstå varme meget godt. Deformationspunktet er ca. 1100 ° C, det blødgørende punkt er ca. 1730 ° C, og den maksimale kontinuerlige servicetemperatur er 1100 ° C, [kort sigt eksponering op til 1450 ° C]. Disse egenskaber tillader anvendelighed ved høje temperaturer, mens de tilvejebringer høj renhed og termisk modstandsdygtighed, og fremmer derfor stabilitet under Czochralski (CZ) krystaltrækprocesser, hvor kontaminering og deformation skal minimeres, og nøjagtige termiske profiler er meget vigtige for at opnå homogen krystalvækst.

Fra et strukturelt perspektiv består halvlederkvartscrucibles af en lagdelt sammensat struktur designet til termiske egenskaber og mekanisk styrke. Start (bevæger sig indad) lag er et gennemsigtigt kvartlag, der generelt er en tredjedel af vægtykkelsen (ca. 3-5 mm), og har et relativt lavt bobleindhold (afhængigt af behandlingsteknik) og derfor vil en glat defekt-fri overflade være i kontakt med den smelte siliconkvartsoverflade (dette bidrager til at modvirke forurening og sikrer stabile betingelser for krystal vækst).

Det ydre er lagdelt med et større niveau af bobler, der bidrager til digelens deformationsstyrke, højere termisk stressresistens og termisk isolering fra varmekilden til strålingens ensartethed. Lagene af digelen giver den mulighed for at opretholde form og integritet på trods af grad af differentielle termiske gradienter, der findes i krystaltrækprocessen.

Moderne kvartscrucibles har udviklet sig yderligere end den traditionelle to-lags struktur på grund af fremskridt inden for fremstillingsteknologi. Mange crucibles anvender et tre-lags struktur-et gennemsigtigt indre lag, gennemsigtigt midterste lag, der har bobler, der er spredt gennem kvarts, og et ydre tyndt lag af boblende kvarts. Tre-lags strukturer tilbyder bedre mekanisk styrke, termisk styring og omkostningsfordele og forbedrer varmeoverførselsegenskaber. Nogle crucibles anvender også belægninger af alkalimetalioner (f.eks. Bariumionopløsninger) på den inderste overflade eller bruger syntetisk kvarts med høj renhed i specifikke lag, for at hjælpe med at reducere iltindhold, udtømmende renhed og forbedre den samlede kvalitet af de trækkede enkeltkrystaller.

Fremstilling af kvartskårsler til halvledere er beregnet til at blive holdt til strenge kvalitetskontroltolerancer ved de nødvendige renheder, hvilket normalt er flere dele pr. Milliard metalliske urenheder. Råmaterialerne er omhyggeligt udvalgt og oprenset for at fjerne forurenende stoffer. De dannes til ru dimensioner, med korrekt termisk behandling påføres, og overfladen er færdig med at tackle dimensionel nøjagtighed, mekanisk styrke og renlighed. Processen er rettet mod at sikre, at korslerne forbliver pålidelige, mens de udsættes for langvarig eksponering for høj temperatur i barske kemiske miljøer.

Ydelsen af ​​kvartsgraden i halvlederproduktion påvirker ensartetheden af ​​siliciumkrystallgitteret, defektdensiteten og ilt i ingoten. Høje renheder og defektfri kvartskårsler, vil begrænse forskydningen af ​​krystaldefekter, forbedre udbyttet og etablere evnen til at generere skiver til at fremme enhedsgeometrier. Hvis du er en producent af HGH-performance ICS, fotovoltaisk kvalitet silicium eller kraftelektronik, er det et afgørende element til etablering og optimering af omkostningsprestationer at vælge og bruge kvartscrucibles af høj kvalitet.

SemicorexHalvlederkvartsCrucibles er et vigtigt hjælpemateriale til ethvert siliciumkrystalltrækssystem. De unikke egenskaber ved renhed, høje temperaturstabilitet og proprietære flerlagsstrukturer gør dette til et passende materiale til at understøtte strengheden i CZ-trækprocessen, mens den giver ensartet og reproducerbar ydelse. Efterhånden som halvlederproduktion bevæger sig mod højere integration og strammere tolerancer, vil de betydelige værditilvækst fordele ved præcision, der konstruerede kvartskårne, skabe større betydning for at muliggøre og udvikle næste generations elektroniske teknologier.