Semicorex alumina keramiske robotarme, også kaldet aluminiumoxid keramiske endeeffektorer, er de afgørende keramiske dele, der hovedsageligt anvendes i halvleder front-end fremstilling til håndtering, transport og positionering af wafere. Semicorex alumina keramiske robotarme, der har både pålidelig ydeevne og konkurrencedygtige omkostninger, kan sikre høj præcision, kontamineringsfri og skadefri wafertransmission.
Med høj renhed, fremragende parallelitet, præcis dimension, stabil pålidelighed og effektiv drift er keramiske robotarme de uundværlige komponenter, der i vid udstrækning anvendes i avanceret halvlederfremstilling. Med den kontinuerlige udvikling af industriel automatisering fortsætter markedets efterspørgsel efter keramiske robotarme med at vokse støt.
Avancerede industrier, herunder wafer-fremstilling, det fotovoltaiske felt og præcisionselektroniksektorer, stiller strenge driftskrav til udstyrskomponenter. Semicorexalumina keramikrobotarme kan fuldt ud opfylde disse strenge krav til halvlederfremstilling under vakuum og høje temperaturforhold takket være deres overlegne materialeydelse vist nedenfor.
1. Høj mekanisk styrke og hårdhed
2. Højt smeltepunkt og pålidelig termisk stabilitet
3. Enestående kemisk korrosion
4. Fremragende elektrisk isoleringsevne
| Egenskaber |
Tæthed |
Bøjestyrke (20℃) |
Trykstyrke (20 ℃) |
Hårdhed (Knoop 1000gm) |
Trækstyrke (25 ℃) |
Termisk udvidelseskoefficient (25-1000 ℃) |
Maksimal brugstemperatur |
||||||||||
| Enhed | g/cm³ |
MPa |
MPa |
GPa |
MPa |
1×10⁻⁶/℃ |
℃ |
||||||||||
| 99,5% A1203 |
3.9 |
350 |
2600 | 16 | 260 | 8.2 | 1750 | ||||||||||
Ovenstående data er kun til reference
1.Håndtering med høj nøjagtighed
Semicorexalumina keramiske robotarmeer ideelle til stabil wafer-håndtering og højpræcisions-wafer-greb og -overførsel i forureningsfølsomme wafer-fremstillingsværksteder i halvleder- og fotovoltaiske felter, hvilket sikrer waferens renhed og spånudbytte.
2.Kemisk behandling
Semicorex alumina keramiske robotarme er i stand til at modstå korrosion af de stærke syrer og alkalier og er velegnede til drift under aggressive kemiske forhold, såsom i den kemiske industri og nye energibatteriproduktionsfelter.
3.HøjtemperaturfremstillingSemicorex aluminiumoxid keramiske robotarme kan bruges i vid udstrækning inden for glasproduktion, støbning og metallurgi, fordi de kan opfylde kravene til opretholdelse af pålidelig styrke og stabilitet under udfordrende højtemperaturmiljøer.