SiC keramisk wafer båd

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat udmærker sig gennem en unik kombination af materialeegenskaber, der gør den ideel til belastningen af ​​halvleder- og fotovoltaisk fremstilling:

Urokkelig høj temperatur stabilitet:Waferbehandling involverer ofte ekstreme temperaturer, der presser konventionelle materialer til deres grænser. SiC keramiske wafer-båden udviser enestående modstand mod høje temperaturer og bevarer dens strukturelle integritet og mekaniske egenskaber selv ved temperaturer over 1650°C (3000°F). Dette muliggør deres brug i kritiske processer som diffusion og  udglødning, hvor præcis temperaturkontrol og wafer-stabilitet er altafgørende.

Uindtagelig fæstning mod korrosion:De skrappe kemikalier og aggressive stoffer, der anvendes til fremstilling af halvledere og solceller, udgør en betydelig udfordring for materialets integritet. SiC Ceramic Wafer Boat udviser overlegen korrosionsbestandighed sammenlignet med de fleste metaller og andre keramik, der modstår langvarig eksponering for en lang række syrer, opløsningsmidler, salte og organiske forbindelser. Denne træghed sikrer bådens levetid, forhindrer kontaminering fra materialenedbrydning og sikrer renheden af ​​kritiske procestrin.

Ubesværet renlighed for kompromisløs renhed:Vedligeholdelse af uberørte waferoverflader er altafgørende for at opnå høje enhedsudbytter og ydeevne. SiC Ceramic Wafer Boats ikke-porøse overflade og modstandsdygtighed over for kemiske angreb gør den usædvanlig nem at rengøre. Forurenende stoffer fjernes let, hvilket forhindrer krydskontaminering mellem proceskørsler og sikrer det uberørte miljø, der kræves til højtydende halvleder- og fotovoltaiske enheder.

Modstandsdygtighed mod termisk og mekanisk stress:Waferbehandling involverer ofte hurtige temperaturændringer og mekanisk håndtering, der kan inducere stress og beskadige modtagelige materialer. SiC Ceramic Wafer Boats robuste mekaniske egenskaber, herunder høj hårdhed og enestående termisk stødmodstand, sikrer dens strukturelle integritet selv under krævende forhold. Dette minimerer risikoen for partikeldannelse eller waferskader, hvilket bidrager til højere udbytter og ensartet produktkvalitet.

Skridfri transport for urokkelig præcision:Præcis waferhåndtering er afgørende for at forhindre skader og sikre ensartet behandling. SiC Ceramic Wafer Boats iboende smøreevne og lave friktionskoefficient skaber en naturligt skridfri overflade. Dette giver mulighed for jævn, kontrolleret waferbevægelse under i- og aflæsning, hvilket minimerer risikoen for ridser, skår eller anden skade, der kan kompromittere waferens integritet.