SiC procesrør

Semicorex SiC procesrør er de vigtige strukturelle komponenter i oxidation, diffusion, RTA/RTP i halvlederfremstillingsprocessen. Det er generelt et rør med stor diameter som et reaktorovnrum, alle kemiske processer vil ske indeni. Så styrken, den termiske stødmodstand er begge meget grundlæggende punkter for produktet.

SiC procesrørene er fremstillet afsintret siliciumcarbid, det kan være SiSiC, SSiC eller RSiC, og CVD SiC-belægningen på overfladen, som vil danne et lag med ultra høj renhed. Det kan forhindre forureningen med partikler, aske osv. Og materialet har meget høj termisk chokmodstand, så SiC procesrørene kan holde sig stabile i høj temperaturbestandighed, og forhindre urenhederne i at bundfælde ud ved høje temperaturer og dermed forurene miljøet.

Disse SiC-procesrør er designet til brug i atmosfærer med reaktiv gas (ilt), skærmgas (nitrogen) og minimale mængder hydrogenchloridgas og tilbyder enestående kemisk modstand, termisk stabilitet og materialerenhed til 1250°C. Semicorex SiC Process Tubes kombinerer avanceret 3D-printproduktion med kemisk dampaflejring (CVD) belægning for at give overlegen ydeevne og levetid under de mest ekstreme termiske og kemiske forhold.

Semicorex SiC-procesrørene fremstilles via en integreret 3D-print-støbeproces frem for et konventionelt presseformet eller samlet rør. Denne fremstillingsproces giver mulighed for en kontinuerlig, ensartet struktur af keramik uden samlinger og svage områder, hvilket skaber en høj grad af kompleksitet og dimensionel trofasthed, som kan afhjælpe stresskoncentrationer og samtidig forbedre den mekaniske styrke. Desuden giver den monolitiske struktur en naturlig gastæt forsegling, hvilket reducerer forurening og lækage under højtemperaturprocesser.

DeSiCaf kroppen er et materiale med ultra-lav urenhed (< 300 ppm), hvilket giver fremragende materialerenhed og stabilitet til reaktive atmosfærer. Derudover er røret belagt med et CVD-siliciumcarbidlag (< 5 ppm) for at forbedre korrosionsbestandighed og overfladebeskyttelse.

Semicorex leverer den tilpassede service, vi kan producere i henhold til kundernes tegninger, for at opfylde de krævede specifikationer. Så Semicorex SiC procesrør kan alternativt være egnede ikke kun til horisontale ovne, men også vertikale ovne.