Solid siliciumcarbid finner

Semicorex solidsiliciumcarbid finnerer typisk installeret som termiske isoleringskomponenter inde i lodrette ovnrør i halvleder termisk behandlingsudstyr, såsom RTP-udglødningsovne og diffusionsovne. Semicorex solide siliciumcarbidfinner kan effektivt regulere temperaturfordelingen i højtemperaturovne og minimere varmeskader på procesdørtætningsdele forårsaget af høje temperaturer. Under våde oxidationsforhold kan Semicorex solide siliciumcarbidfinner bruges til effektivt at forhindre negative påvirkninger på procesresultater og halvlederenheder forårsaget af vanddampkondensering ved relativt lave procestemperaturer.

Fordelene ved Semicorex solide siliciumcarbid finner

1. Fremragende slidstyrke

CVD SiC har en polykrystallinsk kubisk krystalstruktur med enestående hårdhed, der kun er næst efter diamant. Den fremragende slidstyrke af Semicorex solide siliciumcarbidfinner tilskrives denne egenskab, hvilket gør dem til at modstå slid under håndtering og udskiftning.

2. Overlegen termisk styringskapacitet

CVD SiC leverer fremragende termisk modstand og høj temperatur stabilitet, som ikke smelter eller blødgør ved temperaturer op til ca. 2000°C og bevarer sin stabilitet før ultrahøj temperatur sublimering. Takket være disse overlegne termiske egenskaber er Semicorex solide siliciumcarbidfinner yderst velegnede til de udfordrende halvledervarmebehandlingsbetingelser.

3. Ultrahøj renlighed

CVD-SiCfremstilles uden sintringsadditiver under deponeringsprocessen. Sammenlignet med konventionelt reaktionsbundet siliciumcarbid har det meget højere renhed og når over 99,9995%. Dette forhindrer effektivt metallisk urenhedsforurening af Semicorex solide siliciumcarbidfinner forårsaget af høje temperaturer i procesmiljøer, hvilket perfekt opfylder renhedskravet til avanceret halvlederfremstilling.

4. Pålidelig korrosionsbestandighed

Semicorex solide siliciumcarbidfinner kan modstå stærkt oxiderende og stærkt sure procesgasser, der anvendes i halvledervarmebehandlingsprocesser, på grund af den exceptionelle kemiske inertitet af CVD SiC ved høje temperaturer. Denne pålidelige korrosionsbestandighed forlænger effektivt deres levetid og sænker omkostningerne til udskiftning af komponenter.

5. Præcis bearbejdningsnøjagtighed

For at sikre kompatibilitet med forskellige ovnrør kan Semicorex tilpasse massive siliciumcarbidfinner i henhold til kundens krav til diameter, tykkelse, hulstørrelse, fladhed og dimensionstolerancer. Denne bearbejdningspræcision af høj standard garanterer stabil drift af finnerne i udstyret og hjælper med at optimere den samlede effektivitet af halvledervarmebehandlingsapplikationer.