Tantalkarbidbelagte grafitdele

Tantalcarbid-coatede grafitdele spiller en afgørende rolle i halvlederfremstillingsprocesser, hvor præcision, pålidelighed og modstand mod barske forhold er altafgørende. Disse specialbehandlede komponenter, inklusive ætseringe og digler, er designet til at modstå de udfordrende miljøer, man støder på i halvlederfremstilling.

Tantalcarbid-coated grafitdele såsom ætseringe er kritiske komponenter, der bruges i halvlederindustrien til processer som kemisk dampaflejring (CVD) og fysisk dampaflejring (PVD). Disse ringe kommer i direkte kontakt med reaktive gasser og højtemperaturmiljøer under ætsningsprocessen.

Tantalcarbid-coatede grafitdele er belagt med et tyndt lag tantalcarbid. Denne belægning giver enestående slidstyrke og beskyttelse mod ætsende kemikalier, hvilket sikrer lang levetid og ensartet ydeevne.

Tantalcarbidbelægningen øger hårdheden og den kemiske stabilitet af ætseringene, hvilket forhindrer nedbrydning og forurening. Det bidrager også til ensartede ætsningsresultater og forlænget driftslevetid.