Teflon Cassettes

Semicorex Teflon-kassetter er højtydende wafer-bærere, der specifikt er konstrueret til brug i krævende kemiske miljøer, hvor renhed, kemisk resistens og termisk stabilitet er vigtig. Disse kassetter er fremstillet af polytetrafluorethylen (PTFE) med høj renhed og bruges i halvlederproduktion, våd ætsning, kemisk rengøring og andre anvendelser, hvor eksponering for meget aggressive kemikalier er rutinemæssig. Deres ikke-reaktive karakter gør dem ideelle til håndtering af delikate underlag som siliciumskiver, glaspaneler og andre præcisionskomponenter uden at indføre forurening eller partikler i processen.

I forskellige processer med fremstilling af halvleder, såsom litografi, ætsning og ionimplantation, spiller kassetter en rolle i transport og overførsel af skiver mellem forskellige enheder. Forskellige procesudstyr kan have forskellige grænsefladekrav til kassetter for at sikre, at Wafer -transportører kan modtages nøjagtigt og placeres.

Fra perspektivet af materiale og design har materialer, der er varmebestandige, fremragende mekaniske egenskaber, dimensionel stabilitet og er holdbare, antistatiske, lav outgassing, lav nedbør og genanvendelig bruges generelt. Forskellige skivestørrelser, procesnoder og processer bruger forskellige materialer. De generelle materialer er PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP osv.

Teflon -kassetter tilbyder overlegen kemisk resistens i miljøer ved anvendelse af hydrofluorinsyre, salpetersyre, svovlsyre og andre stærke ætsende. I modsætning til konventionelle materialer som polypropylen eller rustfrit stål, nedbrydes PTFE ikke; svulmer ikke; udvask ingen stoffer i barske kemiske bade. Ydeevne garanteres derfor over lange perioder og dermed kassetternes pålidelighed for produktionslinjer med høj kapacitet og ultra-rene miljøer. Dens robusthed betyder lavere vedligeholdelsesbehov og udskiftningsfrekvens og derved reducerer de langsigtede driftsomkostninger.

Teflon -kassetter demonstrerer meget høj termisk stabilitet. De kan let modstå temperaturer fra -200 ° C til +260 ° C, der er anvendelige til kryogene såvel som for processer med høj temperatur. Selv placeret i opvarmede tørringskamre eller kolde kemiske bade, mister kassetterne ikke deres strukturelle styrke; De fordrejer eller sprækker ikke, hvilket sikrer, at skiver forbliver sikkert under forarbejdning. Denne temperaturresilience bidrager markant til at behandle kontrol og ensartethed, som er kritiske for halvleder- og MEMS -fabrikation.

En lige så vigtig egenskab ved Teflon-kassetter er dens inert, ikke-stick overflade. PTFE tillader i sagens natur ikke adsorption af partikler og kemiske rester, hvilket reducerer risikoen for forurening i rent rummiljøer. Dette skal kobles med en glat overfladefinish, der tillader skylning let og tørre hurtige, og dermed renere resultater og hurtigere cyklustider. I halvlederbehandling, hvor defekter kan være forårsaget af endda mikroskopiske forurenende stoffer, er dette renhed og kemiske inertitetsniveau obligatorisk.

Hver kassette fremstilles nøjagtigt til tæt størrelse tolerancer, hvilket garanterer stabil waferjustering og afstand, mens den flyttes og placeres i væske. Deres let designede form hjælper hurtig kemisk strømning og dræning, som fremskynder kemiske valutakurser og forbedrer rengøring eller ætsning af ensartethed på skiveoverfladen.  Kassetterne fås i standardstørrelser til 4-tommer, 6-tommer og 8-tommers skiver, med tilpasningsmuligheder til rådighed til at passe til specifikke substratdimensioner, slottællinger og håndteringskrav.

TEFLON -kassetter er designet til kompatibilitet med automatiserede våde bænke og robot -wafer -håndteringssystemer og integreres let i de fleste halvlederproduktionsopsætninger. Deres robuste konstruktions- og rentrums-finish opfylder de strenge krav fra ISO-certificerede miljøer. Alle kassetter gennemgår grundig inspektion og er forrenset i ultra-rent vand for at opfylde de renhedsstandarder, der kræves til avanceret mikroelektronikproduktion. Certifikater for overensstemmelse og sporbarhed i fuld materiale kan leveres for at sikre overholdelse af kvalitetssikringsprotokoller.