15" Quartz Bell Jar

Semicorex 15" Quartz Bell Jar er konstrueret til at imødekomme disse udfordringer og giver en højtydende løsning til batchbehandling i mellem til stor skala, hvor termisk ensartethed og materialerenhed er afgørende for at maksimere udbyttet. I halvleder- og tyndfilmsindustrien er integriteten af proceskammeret altafgørende. Da waferstørrelserne øges og ikke kræver rene og rene størrelser, øges og stænderes. kemisk inert miljø bliver ikke til forhandling.

1. Materialevidenskab: Renheden af ​​smeltet silica

Grundlaget for vores klokkekrukke er høj renhedsmeltet silica (kvarts). I modsætning til standardglas består kvarts næsten udelukkende af SiO2, hvilket giver unikke egenskaber, der er afgørende for fremstilling af halvledere:

Ultra-lav kontaminering: Vores kvarts behandles for at minimere metalliske sporelementer (såsom Al, Fe, Na og K) til niveauet for dele pr. milliard (ppb). Dette forhindrer diffusion af urenheder ind i waferen under højtemperaturcyklusser, hvilket sikrer enhedernes elektriske integritet.

Overlegen termisk stødmodstand: Kvarts har en termisk ekspansionskoefficient på næsten nul (CTE). Dette gør det muligt for 15" Quartz Bell Jar at modstå hurtig temperaturstigning og bratkøling uden risiko for brud eller strukturel træthed - et kritisk krav til reaktorer med høj kapacitet.

Fremragende kemisk inerthed: Kvarts er meget modstandsdygtig over for de fleste syrer (med undtagelse af flussyre) og ætsende procesgasser, hvilket sikrer, at kammeret ikke nedbrydes eller udgasses under aggressive ætsnings- eller aflejringscyklusser.

2. Præcisionsteknik og optisk klarhed

15" Quartz Bell Jar giver maksimalt volumen og optimal gasstrømningsdynamik med henblik på batch wafer-behandling. Krukken har en lodret skorsten (også kendt som en hals), der er optimalt designet til at give et indløb til gas eller hjælpe med at udvinde gas gennem et vakuum fra krukken, hvilket er vist på billedet ovenfor.

Optisk gennemsigtighed - Det høje niveau af transmission afkvarts materialeat udsende bølgelængder i de ultraviolette, synlige og infrarøde områder af spektret giver mulighed for realtidsbehandling samt brug af eksterne lampevarmere til hurtig termisk behandling (RTP).

Forstærkede forseglingsoverflader - Krukkens hals har en specielt udviklet uigennemsigtig hvid forsegling (også kaldet en jordforbindelse), der giver en hermetisk (luftforseglet) og vakuumtæt grænseflade mellem reaktorens bundplade og krukken.

Udglødning for stressaflastning - Alle 15" Quartz Bell Jar gennemgår en streng termisk udglødningsproces for at lindre intern mekanisk belastning, der er blevet placeret på glasset ved den mekaniske proces med at blæse eller forme glasset, hvilket reducerer risikoen for, at en krukke spontant fejler, når den placeres under vakuumbelastning.

3. Kritiske applikationer i Semiconductor Fab

Vores 15" Quartz Bell Jar er specielt designet til integration i følgende højværdiprocesser:

Siliciumepitaxi: Giver en gennemsigtig, ikke-reaktiv beholder til dyrkning af højkvalitets enkeltkrystal siliciumlag.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): Modstår det ætsende plasmamiljø, samtidig med at høj dielektrisk styrke opretholdes.

Diffusion og oxidation: Fungerer som et rent kammer med høj varme til dannelsen af ​​gate-oxider og doping-indkørsel.

Produktion af optisk fiberpræform: Ideel til aflejring af silicalag med høj renhed ved fremstilling af specialglas.

Hos Semicorex håndterer vi hvert klokkeglas som et stykke præcisionslaboratorieudstyr. Vores proces omfatter: Streng materialeindkøb med verificeret elektronisk kvalitetkvartsbarrer; avanceret fremstilling, der kombinerer traditionelle glasblæsningsfærdigheder med CNC-styret slibning og polering; og grundig inspektion ved hjælp af polariseret lys til at detektere resterende stress og laserinterferometri for præcise dimensionskontrol.