Halvleder Quartz Bell Jar

Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar er typisk fremstillet af syntetisk smeltet kvarts, et materiale kendt for sin enestående renhed, høje temperaturbestandighed og lave termiske ekspansionsegenskaber. Dette sikrer, at kammeret ikke indfører kontaminanter eller urenheder i halvlederfremstillingsprocessen.

Semiconductor Quartz Bell Jar er typisk cylindrisk eller kuppelformet, med en flad eller let buet bund til at rumme halvlederwafers eller substrater. Den har en præcisionskonstrueret, lufttæt tætningsmekanisme, såsom en flange eller O-ringstætning, for at opretholde et vakuum eller kontrolleret atmosfære inde i kammeret under behandlingen.

Semiconductor Quartz Bell Jar tilbyder fremragende optisk klarhed, hvilket giver operatører mulighed for visuelt at overvåge processer inde i kammeret uden at gå på kompromis med nøjagtigheden eller indføre interferens. Kvarts er meget modstandsdygtig over for kemiske angreb fra de fleste syrer, baser og opløsningsmidler, der almindeligvis anvendes i halvlederfremstillingsprocesser. Dette sikrer integriteten af ​​kammeret og forhindrer kontaminering af substraterne.

Kvarts har et højt smeltepunkt og termisk stabilitet, hvilket gør det muligt for Semiconductor Quartz Bell Jar at modstå forhøjede temperaturer under deponering eller udglødningsprocesser uden deformation eller nedbrydning.

Ansøgninger:

Aflejring: Halvlederkvartsklokkekrukker bruges i forskellige aflejringsteknikker, såsom kemisk dampaflejring (CVD), fysisk dampaflejring (PVD) og atomisk lagaflejring (ALD) til at afsætte tynde film af materialer på halvledersubstrater med præcision og ensartethed.

Ætsning: De bruges i plasmaætsningsprocesser til selektivt at fjerne materiale fra halvlederwafere, hvilket skaber indviklede mønstre og strukturer med høj nøjagtighed og repeterbarhed.

Udglødning: Klokkeglas bruges i udglødningsprocesser til at udsætte halvlederwafere for kontrolleret termisk behandling, hvilket letter krystallisation, aktivering af dopingmiddel og spændingslindring i aflejrede film.