Hjem > Produkter > Halvlederkomponenter > Wafer Chuck > Al2O3 Vakuumchucks
Al2O3 Vakuumchucks
  • Al2O3 VakuumchucksAl2O3 Vakuumchucks

Al2O3 Vakuumchucks

Semicorex AL2O3 Vacuum Chucks er mikroporøse keramiske adsorptionsarmatur lavet af sort aluminiumoxid med en porøsitet på 35-40%, specifikt designet til waferhåndtering i halvlederanvendelser. Valg af Semicorex betyder at drage fordel af avanceret keramisk teknologi, præcisionsteknik og pålidelig produktkvalitet, der sikrer stabil ydeevne i krævende rengøringsmiljøer.*

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse


Semicorex al₂o₃ vakuumchucks er præcisionsmikroporøs keramisk komponent udviklet til waferhåndtering, fiksering og behandling af applikationer i halvlederindustrien. Lavet af sort aluminiumoxid med en kontrolleret porøsitet på 35%-40%, det er et ekstremt stabilt, rent og pålideligt medium til vakuumadsorptionsprocesser. Chuck kombinerer den keramiske behandling af underlaget på en funktionel overflade ved hjælp af avancerede fremstillingsteknikker til at give ensartet sugeydelse for brugerens skrøbelige skive under kritiske processtrin.


Sortaluminiumoxid (al₂o₃); Har en unik balance mellem mekanisk styrke, hårdhed og kemisk resistens sammenlignet med metaller og polymerer. Den mikroporøse struktur er optimeret til kontrolleret porøsitet for at tilvejebringe ensartet vakuumfordeling over overfladen af ​​vakuumchuck. Konsekvent vakuumfordeling i hele det fulde overfladeareal af en skive -chuck minimerer lokaliserede stresskoncentrationer, hvilket begrænser risikoen for waferforvrængning, kantslipning og brud. Da Wafer -fabrikation fortsætter med at opskalere i diameter, og geometrier og enheder bliver mere skrøbelige, bliver procesudbyttet og forbedret håndtering af wafer -håndteringskrav.


Den kontrollerede porøsitet på 35-40% repræsenterer en nøgleegenskab ved dette vakuumchuck. Et optimeret pore -netværk kan minimere turbulens under luftvakuering fra poreområdet og opretholde holdekraften, samtidig med at mekanisk styrke og holdbarhed bevarer mekanisk styrke og holdbarhed. I modsætning hertil bruger mekaniske klemmer plader, der forårsager lokaliserede stresspunkter og arbejder mod de mekaniske egenskaber ved den individuelle skive. Den mikroporøse aluminiumoxidoverflade er derfor overlegen i at holde skiver fladt og inkongruøst under mekaniske tilgange. Dette skaber en perfekt kandidat til højteknologiske halvlederprocesser, der drager fordel af Wafer Flatness og glat hold, herunder litografi, ætsning, afsætning og metrologi.


Fra et termisk perspektiv har det sorte aluminiumoxidmateriale fremragende denne evne til at opretholde dimensionel stabilitet under forhøjet temperatur. Med en lav koefficient for termisk ekspansion er en vakuumchuck i stand til at forblive nøjagtig, selv under opvarmnings- og kølecyklusser, hvilket er et kritisk aspekt på grund af den hurtige temperatursvingning, der ofte forekommer i Wafer -behandlingsmiljøer. Hårdhed og slidstyrke af denne keramik øger også chuckens levetid, reducerer frekvensen af ​​vedligeholdelse for udstyrsoperatører og sænker de samlede ejerskabsomkostninger.


Den kemiske inertitet af aluminiumoxid -keramik er endnu en væsentlig ejendom. I halvlederfabs skal komponenterne i udstyret tolerere aggressive kemikalier, rengøringsmidler eller plasmamiljøer uden forringelse. Sort aluminiumoxid har fremragende egenskaber til at modstå korrosion, oxidation og/eller overfladeforurening og bevarer derved struktur og strukturel/fasisk stabilitet i perioder med ophidset driftscyklus. Denne egenskab på plads betyder også, at skiver ikke udsættes for kontaminering, der beskytter kredsløbet mod, hvordan disse enheder fungerer, og også stoler på Cleanroom -protokollerne.


Al₂o₃ -vakuumchucks udviser ikke kun fremragende funktionel ydeevne, overfladefinish styres også tæt. Finishen oprettes ved hjælp af højpræcisionsbearbejdning og poleringsprocesser, der giver ensartet fladhed og glathed, så delikate skiver kan holdes uden ridser eller overfladeskader. Materialets højt konstruerede porøsitet giver en passende balance mellem sugning og overfladebeskyttelse, hvilket giver mulighed for tilstrækkelig holdekraft på skiven, samtidig med at man undgår skade på de tynde, sprøde underlag.


Fra et operationelt synspunkt er Al₂o₃ -vakuumchucks kritiske komponent i moderne halvlederproduktion. Det letter automatisering, hvilket gør det muligt at hente, placeret, justeret og forarbejdet, pålideligt tilfredsstillende processkravene. Aluminiums sorte farve hjælper og giver pragmatiske fordele ved at reducere lysreflektion under optiske inspektioner og måleprocesser, især hvor optisk udstyr med høj præcision bruges.


Ved at kombinere avanceret keramisk teknologi med et velovervejet design har i Al₂o₃ Vacuum Chucks givet en langvarig, højtydende løsning til halvlederproducenternes wafer-håndteringsudfordringer. Al₂o₃ vakuumchucks forbedrer produktiviteten gennem reduceret skivtab, reducerer nedetid på grund af holdbarhed og forbedrer processen stabilitet ved at tilvejebringe ensartet vakuumholdningskraft.


Semicorex al₂o₃ vakuumchucks lavet af mikroporøs sortaluminiumoxider mere end bare en armatur; Det er en kritisk mulighed for fremstilling af præcision af præcision. Med sin optimerede porøsitet, ekstraordinære materialegenskaber og robust ydeevne sikrer det pålidelig waferhåndtering på tværs af de mest krævende fabrikationsprocesser. For producenter, der søger at opnå højere udbytte, forbedret proceseffektivitet og overlegen udstyrsydelse, er den sorte aluminiumoxidvakuum Chuck et uundværligt valg.





Hot Tags: Al2O3 Vakuumchucks, Kina, producenter, leverandører, fabrik, tilpasset, bulk, avanceret, holdbar
Relateret kategori
Send forespørgsel
Du er velkommen til at give din forespørgsel i nedenstående formular. Vi svarer dig inden for 24 timer.
Relaterede produkter
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept