Porøs aluminiumoxid chucks

Semicorex Porous Alumina Chucks er specialbygget for de mest delikate skiver. Deres porøse design giver forsikring om konsekvent vakuumfordeling over Chuck -overfladen, hvilket sikrer reduceret lokaliseret stress og hjælper med at forebygge kantopdækning og brud. Mekanisk klemme (fast eller på anden måde) er ikke så effektive som det mikroporøse netværk, der holder endda delikate skiver uden den overbegrænsende mekaniske stress, mens den også fastgør skiven sikkert, da den mikroporøse struktur forhindrer slid og giver et blidt greb. Behovet for ensartet adsorption over hele chuck -overfladen er især kritisk for skiver, der er større og tyndere, der kan tolerere meget mindre stress under automatiseret håndtering og mens de udfører høje præcisionsbehandlingstrin.

Optimeret til 35-40% porøsitet udvikler Chuck et netværk af sammenkoblede porer, der tjener til at evakuere luften, mens de giver nok mekanisk styrke til at holde skiven på plads mod processtyrker. Dette betyder, at vakuumholdningskraften forbliver stabil, mens skiver bevæger sig, selv i hurtig rækkefølge, mens den udfører en kompleks processekvens. Adsorption inden for et mikroporøst netværk giver mere stabilitet end ved blot at skabe forskelle i tryk inden for vakuumsystemet.

Den sorte aluminiumoxid (al₂o₃), i sig selv er det ultimative materiale, fordi det er svært, slidbestandigt og kemisk inert. Det vil ikke forringe nogen mærkbar overflade og påvirkes ikke gennem gentagne cyklusser af skiven (placering/ vakuumadsorption/ afkøling). Den sortealuminiumoxider dimensionelt stabil, vil derfor ikke ændre sig på trods af temperaturændringer, der forekommer naturligt under processen (opvarmning og afkøling) eller i miljøet.

Kemisk modstand er en anden vigtig fordel ved sort aluminiumoxid. Chuck kan fungere i aggressiv rengørings-, plasma- og ætsningsmiljøer uden at gå på kompromis med dens strukturelle integritet. Dens inertitet forhindrer kontaminering af skiveoverfladen, hvilket sikrer høj procesrenhed og adhæsion til renrumsstandarder.

Den mikroporøse struktur tilbyder også en understøttende overflade, der lindrer stresskoncentrationen på tynde og sprøde skiver. I tandem med præcis overfladet fladhed og glat overfladefinish vil de porøse aluminiumoxidchucks minimere forekomsten af ​​mikro-cracks og ridser, der kan kompromittere integriteten af ​​skiven ved hånden.

Aluminiumoxid keramikHar fremragende hårdhed, høj mekanisk styrke, lav termisk ekspansionskoefficient og fremragende termisk stabilitet, hvilket gør det til et praktisk materiale til en præcisions -halvlederpåføring. Den kemiske inertitet betyder også, at det kan modstå syrer, alkalier og plasma, mens slidbestandighedsegenskaber sikrer holdbarhed, disse fordele gør aluminiumoxid til det valgte materiale til mikroporøse vakuumchucks og giver både pålidelighed og forudsigelighed af ydelsen.

Afslutningsvis er de porøse aluminiumoxid -chucks designet til at levere ensartet og overlevelig waferhåndtering. Dens mikroporøse sorte aluminiumoxidstruktur tilbyder endda vakuumadsorption (ensartethed), mens den minimerer mekanisk stress og reduktion af skader på skader. Som Chuck hjælper den betydelige og optimale porøsitet sammen med fremragende termiske, mekaniske og kemiske egenskaber med at optimere skivens sikkerhed, værdi og pålidelighed af drift under barske fremstillingsbetingelser. Den fremragende kombination af robust, ensartet og sikker håndtering, som de porøse aluminiumoxid -chucks kan tilbyde producenter, er simpelthen sjældne og unikke.