CVD og CVI vakuumovn

Semicorex CVD og CVI Vacuum Furnace er et højkvalitetsværktøj designet til kemiske dampaflejringsprocesser (CVD). Reaktionstemperaturerne er op til 2200°C. Det er i stand til at afsætte en lang række materialer, herunder siliciumcarbid, bornitrid, grafen og mere. CVD-ovnen har et robust design og er lavet af materialer af høj kvalitet, hvilket sikrer pålidelighed og holdbarhed til langtidsbrug. Den har både vandrette og lodrette strukturer.

Anvendelse:C/C komposit bremseskive, digel, form osv.

Funktioner af Semicorex CVD og CVI vakuumovn

1. Robust design lavet af materialer af høj kvalitet til langvarig brug;

2. Præcis styret gaslevering gennem brug af massestrømsregulatorer og højkvalitetsventiler;

3. Udstyret med sikkerhedsfunktioner såsom overtemperaturbeskyttelse og gaslækagedetektion for sikker og pålidelig drift;

4. Brug af flere temperaturkontrolzoner, stor temperaturensartethed;

5.Specialdesignet aflejringskammer med god tætningseffekt og god anti-kontamination ydeevne;

6. Brug af flere aflejringskanaler med ensartet gasstrøm, uden deponeringsdøde hjørner og perfekt aflejringsoverflade;

7. Det har behandling for tjære, fast støv og organiske gasser under aflejringsprocessen

Valgfri funktioner:

• Ovndør: skrue/hydraulisk/manuel elevationstype; svingåbning/parallel åbning (stor størrelse

ovndør); manuel tight/ auto lock-ring tight

• Ovnbeholder: alt kulstofstål/indvendigt lag rustfrit stål/alt rustfrit stål

•Ovns varme zone: blød kulfilt/blød grafitfilt/stiv kompositfilt/CFC

•Varmeelement og muffel: isostatisk pressegrafit/grafit med høj renhed, styrke og tæthed/grafit i fin størrelse

• Procesgassystem: volumen/masseflowmåler

• Termoelement: K type/N type/C type/S type

*Ovenstående parametre kan justeres til proceskravene, de er ikke som acceptstandard, detaljeret spec. vil fremgå af det tekniske forslag og aftaler.