GaN-on-Si Epi Wafer Chuck

Semicorex GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er en integreret del af halvlederfremstilling, hvilket muliggør stabil og pålidelig support under kritiske processer såsom aflejring, ætsning og litografi. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck sikrer effektiv varmeafledning og opretholder ensartet temperaturfordeling over waferen for at forhindre termiske gradienter, der kan forårsage defekter. GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er tilgængelig i forskellige størrelser og konfigurationer for at imødekomme forskellige waferdimensioner og behandlingskrav, hvilket giver fleksibilitet til forskellige behov for halvlederfremstilling.

Ansøgninger:

Epitaksial vækst: GaN-on-Si Epi Wafer Chuck giver en stabil platform for vækst af højkvalitets GaN-lag på siliciumsubstrater, GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er afgørende for højtydende elektroniske og optoelektroniske enheder.

Ætsning og aflejring: Letter ensartet materialefjernelse eller aflejring, nøglen til at opnå de ønskede strukturelle og elektriske egenskaber af enhederne.

GaN-on-Si Epi Wafer Chuck er et uundværligt værktøj for halvlederproducenter, der sigter mod at producere banebrydende GaN-baserede enheder, der tilbyder uovertruffen ydeevne inden for præcision, stabilitet og holdbarhed.