Vandrette Quartz Wafer-både

Vandrette kvarts wafer bådesædvanligvis holder halvlederskiver vandret inde i ovnrørene i varmebehandlingsudstyr, opvarmet af eksterne varmeanordninger. De bruges i vid udstrækning i krævende højtemperaturkorrosive halvledervarmebehandlingsprocesser, såsom termisk oxidation, højtemperaturdiffusion, udglødning og kemiske dampaflejringsprocesser (CVD).

Funktionerne af Semicorex horisontale kvartswaferbåde

1. Stabil fastholdelse og sikring

Semicorex horisontale quartz wafer både har fremragende bæreevne og kan konstant tilbyde stabil støtte til flere halvleder wafers. Og deres optimerede ydre design og præcise slotstruktur sikrer hveroblater perfekt monteret og solidt fastgjort på de vandrette kvartswaferbåde, hvilket markant reducerer waferridser og kollisioner forårsaget af rystning, forskydning og vipning under transport og fremstillingsprocesser.

2.Procesensartethedsbistand

Den ensartede spaltestruktur af vandrette kvartswaferbåde giver mulighed for en velordnet placering af halvlederwafers, hvilket skaber et stabilt og jævnt gasflowfelt i højtemperaturovnene. Det strukturelle design opnår ensartet gaskontakt og reaktionshastighed på hver waferoverflade og reducerer derved effektivt forskellige defekter forårsaget af ujævn opvarmning og differentiel gaskontakt, såsom ufuldstændig waferoxidation, ujævn tyndfilmaflejring og dopingkoncentrationsafvigelse.

3.Langvarig levetid

Takket være kvartsmaterialets overlegne højtemperaturbestandighed kan Semicorex horisontale kvartswaferbåde modstå høje temperaturer på 1100-1200 ℃ i lang tid uden deformation eller smeltning.Kvartser kemisk inert over for gasser, der almindeligvis anvendes i halvlederprocesser, såsom oxygen, nitrogen og hydrogenchlorid. Denne exceptionelle kemiske inerthed kan minimere risikoen for korrosion fra procesgasser, forlænge levetiden betydeligt og reducere udskiftningstiden og omkostningerne til udstyr.