Semicorex Quartz Diffusion Boat, også kaldet quartz carrier eller quartz wafer boat, er specifikt designet til at holde halvlederwafers under kritiske processer såsom kemisk dampaflejring (CVD), termisk oxidation og udglødning.**
I kemisk dampaflejring (CVD) er kvartsdiffusionsbådens rolle afgørende for ensartet aflejring af tynde film på halvledersubstrater. Den præcise konstruktion af Quartz Diffusion Boat sikrer, at waferne holdes sikkert på plads, hvilket giver mulighed for en jævn fordeling af de gasformige reaktanter over deres overflader. Denne ensartethed er afgørende for at opnå ensartet filmtykkelse og sammensætning, som direkte påvirker den elektriske ydeevne af halvlederenhederne. Semicorex Quartz Diffusion Boat er designet til at modstå de høje temperaturer og korrosive miljøer, der typisk opstår i CVD-processer, hvilket sikrer langsigtet holdbarhed og pålidelighed.
Termisk oxidation er en anden kritisk proces i halvlederfremstilling, hvor et siliciumdioxidlag dyrkes på overfladen af siliciumwafers. Dette oxidlag fungerer som en isolator og er afgørende for den korrekte funktion af halvlederenheder. Quartz Diffusion Boat er konstrueret til at give fremragende termisk stabilitet, hvilket sikrer, at waferne udsættes for en ensartet temperaturprofil under oxidationsprocessen. Denne ensartethed er afgørende for væksten af et ensartet og højkvalitets oxidlag, som forbedrer ydeevnen og pålideligheden af de endelige halvlederenheder.
Udglødning, som involverer kontrolleret opvarmning og afkøling af wafere for at ændre deres fysiske og kemiske egenskaber, er en anden proces, hvor Quartz Diffusion Boat spiller en afgørende rolle. Den præcise kontrol af temperatur og atmosfære under udglødning er afgørende for at forbedre krystalstrukturen af silicium, aktivere dopingmidler og reducere defekter. Semicorex Quartz Diffusion Boat er designet til at opretholde strukturel integritet og termisk stabilitet under de høje temperaturer og hurtige temperaturændringer, der er typiske for udglødningsprocesser. Denne stabilitet sikrer, at waferne behandles ensartet, hvilket opnår de ønskede materialeegenskaber og forbedrer ydeevnen af halvlederenhederne.
Tilpasning er et nøgleaspekt af Quartz Diffusion Boat, da forskellige halvlederfremstillingsprocesser har unikke krav. Hos Semicorex tilbyder vi en bred vifte af tilpassede former og størrelser for at imødekomme vores kunders specifikke behov. Vores produktlinje omfatter forskellige typer kvartswaferbærere, såsom kvartsbåde, slidsbåde, fladbåde og stående både. Vi er specialiserede i at producere waferbærere til en række specifikationer, herunder 3″, 4″, 5″, 6″, 7″ og 8″ wafers. Både klare smeltede og uigennemsigtige materialer er tilgængelige, hvilket giver os mulighed for at levere løsninger, der er skræddersyet til de specifikke krav til hver applikation.
Vores produktionskapacitet understøttes af state-of-the-art faciliteter, herunder støvfrie svejserum og forarbejdningsværksteder af høj standard. Vi bruger avancerede teknologier såsom laserskæring, CNC-bearbejdningscentre, CNC-spaltemaskiner og effektiv vandskæring for at sikre den højeste kvalitet og præcision i Quartz Diffusion Boat. Disse avancerede fremstillingsprocesser gør os i stand til at producere kvartsbåde med præcise dimensioner og overlegen overfladefinish, hvilket sikrer optimal ydeevne i halvlederfremstillingsprocesser.