LPE Part

Semicorex LPE-dele er højtydende SiC-belagte komponenter, der er specielt designet til brug i SiC-epitaksiprocessen. Disse komponenter er konstrueret til at modstå de krævende forhold ved SiC-krystalvækst, hvilket giver overlegen termisk stabilitet, kemisk resistens og mekanisk styrke. Når du vælger Semicorex's LPE-dele, er du garanteret enestående holdbarhed, præcision og en skræddersyet løsning til dine SiC-epitaksiprocesbehov.

Semicorex LPE-dele er fremstillet med avancerede materialer og præcise fremstillingsteknikker, hvilket sikrer ensartethed og pålidelighed i hver enhed. Belægningens fysiske og kemiske egenskaber stiller strenge krav til høj temperaturbestandighed og korrosionsbestandighed, hvilket direkte påvirker produktets udbytte og levetid. SiC-materiale har høj styrke, høj hårdhed, lav varmeudvidelseskoefficient og god varmeledningsevne. Det er et vigtigt højtemperatur-strukturmateriale og højtemperatur-halvledermateriale. Det påføres grafitbaser. Dens fordele er:

1) SiC er korrosionsbestandig og kan pakke grafitbasen fuldstændigt ind og har god densitet for at undgå beskadigelse af ætsende gasser. 2) SiC har høj termisk ledningsevne og høj bindingsstyrke med grafitbasen, hvilket sikrer, at belægningen ikke er let at falde af efter at have oplevet flere højtemperatur- og lavtemperaturcyklusser. 3) SiC har god kemisk stabilitet for at undgå svigt af belægningen i en høj temperatur og korrosiv atmosfære. Derudover kræver epitaksiale ovne af forskellige materialer grafitbakker med forskellige ydeevneindikatorer. Tilpasningen af ​​den termiske udvidelseskoefficient for grafitmaterialer kræver tilpasning til væksttemperaturen i den epitaksiale ovn. For eksempel er temperaturen af ​​siliciumcarbidepitaxi høj, og der kræves en bakke med en høj termisk ekspansionskoefficienttilpasning. Den termiske udvidelseskoefficient for SiC er meget tæt på grafit, hvilket gør den velegnet som det foretrukne materiale til overfladebelægningen af ​​grafitbasen.

Anvendelser i SiC Epitaxy Process

SiC-epitaksi-processen er et kritisk trin i produktionen af ​​højkvalitets SiC-wafere, der bruges til halvlederenheder, herunder kraftelektronik og optoelektronik. LPE-dele, især dem med SiC-belægninger, spiller en væsentlig rolle i den præcise kontrol af temperatur og kemiske reaktioner i reaktoren. Disse komponenter er strategisk placeret i reaktoren for at lette optimal wafervækst og samtidig bibeholde renheden og ensartetheden af ​​SiC-krystallerne.

Hos Semicorex forstår vi, at enhver SiC-epitaksi-proces har unikke krav. Det er derfor, vores LPE-dele kan tilpasses fuldt ud til at imødekomme de specifikke behov for din operation. Uanset om det er størrelsen, formen eller belægningstykkelsen, arbejder vores ingeniørteam tæt sammen med kunderne for at levere komponenter, der optimerer deres produktionsprocesser.

SiC-belægningen af ​​høj kvalitet på vores dele sikrer også overlegen holdbarhed. I modsætning til konventionelle materialer tilbyder SiC en længere levetid under barske driftsforhold, hvilket reducerer hyppigheden af ​​vedligeholdelse og nedetid. Denne lang levetid betyder lavere driftsomkostninger og øget effektivitet for halvlederproducenter.

Semicorex LPE-dele er designet med præcision og konstrueret til at opfylde de strenge krav til SiC-epitaksiprocessen. Vores komponenter er produceret ved hjælp af den nyeste teknologi, hvilket sikrer, at de giver uovertruffen ydeevne og lang levetid. Ved at vælge Semicorex vælger du en partner, der forstår kompleksiteten af ​​halvlederfremstilling og er forpligtet til at levere pålidelige produkter af høj kvalitet, der forbedrer dine produktionskapaciteter.

Semicorex LPE dele, med deresSiC belægning, er det ideelle valg til at forbedre ydeevnen og levetiden af ​​SiC epitaksereaktorer. Disse komponenter giver overlegen termisk stabilitet, kemisk resistens og mekanisk styrke, hvilket sikrer, at din SiC-krystalvækstproces forløber jævnt og effektivt. Med tilgængelige tilpasningsmuligheder tilbyder Semicorex en skræddersyet løsning, der opfylder dine specifikke proceskrav, hvilket gør os til den betroede partner for halvlederproducenter over hele verden.