Ledende coatede grafitvarmere

Deledende coated grafitvarmerer et nyt produkt designet til høj temperatur halvlederbehandling og andre vakuumtermiske systemer. Det anvender den gode termiske stabilitet af grafit med høj renhed og de fremragende overfladegenskaber ved et siliciumcarbid (SIC) belægning. Ledende coatet grafitvarmer er yderligere differentieret af dets nitrogen-dopede SIC-lag, der giver kraftigt forbedret overfladedigivitet, hvilket gør det særlig velegnet til applikationer, der skal kontrolleres og endda opvarmes med stor elektrisk ydeevne.

Varmeren er konstrueret med et grafitunderlag med høj styrke, der fungerer som den kerne strukturelle og termiske leder. Grafitten blev valgt, specifikt i betragtning af dets høje niveauer af termisk ledningsevne, lav termisk ekspansionskoefficient og modstandsdygtighed over for termisk chok. Disse egenskaber gør grafit til et passende basismateriale i applikationer med høj temperatur, hvor der kan være hurtig opvarmnings- og kølecyklusser. Imidlertid er uberørt grafit i sig selv kemisk reaktivt i visse atmosfærer og kan opleve overfladeskader eller nedbrydning, partikelemission eller overførsel under udvidet anvendelse, især i halvlederens rentrumsmiljøer.

For at overvinde disse begrænsninger er grafitdelen belagt med et tykt sic-lag med høj renhed. SIC -belægningen tjener flere funktioner: det giver et beskyttelsesniveau mod oxidation og kemisk korrosion, den giver en meget hård, slidbestandig overflade, og det sikrer kompatibilitet med vakuum- og renrumsstandarder. SIC har et ry for ekstrem hårdhed, høj termisk ledningsevne og kemisk inerthed; Af denne grund er det et fremragende belægningsmateriale til høje ydeevne termiske komponenter.

Den unikke innovation af dette produkt er nitrogendoping af SIC -belægningen. Under den kemiske dampaflejring (CVD) -proces er nitrogenatomer indlejret i SIC -gitteret, hvilket producerer frie bærere, som dramatisk kan reducere sin overflademodstand og derfor skabe et ledende overfladelag og give strømmen direkte til at passere direkte, snarere end at bruge et adgangspunkt gennem SIC -belægningen, hvilket giver hele grafitkomponenten til at fungere som et resistivt opvarmningselement.

KlassiskSic belægningerer isolerende, hvilket virkelig begrænser dem i omfanget af aktive elektriske anvendelser. Omvendt har det nitrogen-dopede SIC-lag på varmelegemet en ekstremt lav overflademodstand, mens den stadig opretholder alle de mekaniske og kemiske fordele ved klassisk SIC. Det ledende lag giver meget god strøm ensartethed og minimerer effekttab, mens den forbedring af termisk fordeling på varmeoverfladen. Det er især ideelt til præcisionsopvarmningsapplikationer under betingelser, der ofte er forbundet med epitaksiale reaktorer, diffusionsovne og hurtig termisk behandling (RTP) udstyr.

Varmergeometrien, typisk spiral eller serpentin som vist på billedet, er designet og optimeret med det formål at producere ensartet termisk outputenergi og ensartet elektrisk belastning. Med det integrerede design af grafit og ledende SIC -belægning kan elektriske kontakter foretages direkte på den belagte overflade, der eliminerer behovet for yderligere elektroder eller metalforbindelse. Dette reducerer forureningsrisici og resulterer i en enklere samling. Derfor forbedres den samlede effektivitet.

De vigtigste fordele ved det ledendeSiC-coated grafitvarmeromfatte:

Fremragende elektrisk ledningsevne på grund af nitrogendoping, hvilket muliggør jævnstrømstrøm og effektiv resistiv opvarmning.

Overlegen termisk ensartethed med præcis temperaturkontrol over hele overfladearealet.

Høj kemisk resistens, især i ætsende miljøer, såsom brint, ammoniak eller halogenrige atmosfærer.

Minimal partikelgenerering, opfylder de strenge renhedskrav til halvlederfremstilling.

Udvidet levetid på grund af den mekaniske holdbarhed og den termiske chokresistens for både grafitkernen og SIC -belægningen.

Anvendelserne til denne varmelegeme strækker sig over en række avancerede teknologiske industrier. Varmeren finder et sted i halvlederfremstillingsprocesser som kemisk dampaflejring (CVD), molekylærbjælkepitaxy (MBE) og Wafer -annealing, hvor præcis temperaturkontrol og renhed af materialer er kritisk. Den sic-coatede grafitvarmer kan også bruges i fotovoltaisk produktion, sintring af avanceret keramik og i andre termiske processer, hvor der kræves højere ydelse, holdbarhed og robuste varmeapparater.

Sammenfattende er den ledende SIC-coatede grafitvarmer en imponerende fremskridt i udviklingen af termiske komponenter. Ved at bruge en nitrogen-dopet SIC-belægning har vi udviklet et effektivt termisk produkt, der med succes kombinerer den kemiske stabilitet i SIC-belægningen med elektrisk ledningsevne. Produktion af en termisk proces, der er mere effektiv, renere og mere pålidelig til de mest krævende industrielle anvendelser. Halvleder- og materialernes industrier står over for fortsat forandring, og hybridmaterialer af denne art vil blive stadig vigtigere for at muliggøre fremtidige mere avancerede teknologier til fremstilling.

Semicorex tilbyder høj kvalitetgrafitvarmere med belægningprodukter. Hvis du har nogen forespørgsler eller har brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at komme i kontakt med os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com