Silicium carbide wafer båd

Bag hver høje temperaturproces i Wafer-fremstilling ligger en stille, men alligevel afgørende spiller: Wafer Boat. Som kernerbæreren, der direkte kontakter siliciumskiven under skivens behandling, er dens materiale, stabilitet og renlighed direkte relateret til det endelige chipudbytte og processtabilitet. Blandt forskellige bærermaterialer,Siliciumcarbid (sic)Både erstatter gradvist traditionelle kvartsopløsninger og bliver den foretrukne løsning til avancerede processer og avanceret udstyr.

Hvorfor sic wafer både?

Med fremme af procesnoder under 7NM og udvidelsen af ​​høje temperaturprocesvinduer kæmper traditionelle kvartsskivebåde i stigende grad med hensyn til termisk stabilitet, partikelkontrol og levetid.

Siliciumcarbidwaferbåde vinder imidlertid gradvist fremtrædende karakter på grund af følgende fordele:

1.Stable ved høje temperaturer:

De tilbyder langsigtede driftstemperaturer på 1350-1600 ° C, hvilket let håndterer mainstream-processer såsom CVD, diffusion og annealing. Selv kort eksponering for temperaturer på 1800 ° C viser ingen blødgøring eller deformation, hvilket gør dem velegnet til udstyr med højere ende, såsom enkelt krystalsiliciumcarbidovne.

2. Lav udvidelse og høj termisk chokstabilitet:

Med en lav koefficient for termisk ekspansion kan de modstå hurtige temperaturstigninger og falder, hvilket minimerer strukturel revner forårsaget af termisk stress. De opretholder fremragende morfologi og ydeevne i høj-temperatur, komplekse atmosfærer (såsom brint, nitrogen, ammoniak og fluorider).

3. Rent overflade og ekstremt lav forurening:

Høj materiel renhed med minimale metalforureninger. Lav overfladefremhed, hvilket forhindrer sekundær kontaminering af siliciumskiver; Fremragende kontrol af overfladegruppe, med RA under 0,1μm, undertrykker partikeludgydelse og opfylder de renrumskrav i avancerede processer;

4. støbning i ét stykke, præcisionsmaskinerede wafer-bådstrukturer kan dannes direkte gennem skimmelfrit3D -udskrivning, eliminere behovet for forme, forbedrer tilpasningseffektiviteten markant; Kombineret med fem-akset bearbejdning og trådskæringsteknologi er bådens tænder burrfri, hvilket forhindrer ridser på skiverne og sikrer glat automatiseret håndtering;

5. Høj styrke og lang levetid: 

En enkelt båd kan prale af høj bærende styrke og kan samtidig understøtte snesevis til hundreder af 12-tommers skiver. Sammenlignet med traditionelle kvartsbåde er bådens gennemsnitlige levetid 5-10 gange længere, hvilket reducerer udstyrsændringsfrekvens og samlede ejerskabsomkostninger.

Applikationsscenarie

Den store tilpasningsevne afsilicium carbide wafer bådeudvider deres anvendelse ud over halvlederfeltet til en række høje temperaturprocescenarier, herunder nye energimaterialer, LED-fremstilling og nuklear energiforskning.

Halvlederindustri

Det er velegnet til nøgleprocesser, såsom oxidation, diffusion, CVD-afsætning og ionimplantation, hvilket gør det til en uundværlig høje temperatur til under 7NM-proceslinjer.

Fotovoltaisk industri

I nye batteriteknologier som TopCon og HJT bruges waferbåde i høje temperaturovnsprocesser såsom LPCVD og annealing, hvilket hjælper med at forbedre energieffektiviteten og konverteringsfrekvenserne.

Tredje generation af halvledere

For GaN- og SIC -epitaksiale vækstprocesser i LED'er understøtter de safir- eller siliciumcarbidunderlag. De modstår ætsende gasser såsom NH₃ og HCL, der understøtter fremstillingen af ​​højfrekvente strømenheder.

Nye energimaterialer og forskningsplatform med høj temperatur

Understøtter sintringreaktionen af ​​lithiumbatteri -katodematerialer og varmebehandlingen af ​​nukleare industrimaterialer, der kombinerer varmemodstand, korrosionsbestandighed og renlighed.

Semicorex tilbyder høj renhedTilpassede sic wafer både. Hvis du har nogen forespørgsler eller har brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at komme i kontakt med os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com