Hvad er funktionen af ​​fokusringe?

Fokusringe er de væsentlige komponenter for at sikre ensartetheden og stabiliteten af ​​halvlederætsningsprocesserne. Gennem præcis kontrol af elektriske og termiske felter kan fokusringe koncentrere plasma på waferens overflade, hvilket sikrer ensartede ætsningsresultater på tværs af alle steder på waferen.

Funktionerne af fokusringe

1. Forbedre ætsningens ensartethed

I ætsningsprocessen kan fokusringe koncentrere plasma påoblatoverflade, som effektivt garanterer ensartet plasmadensitet, ionbombardementsvinkel og energiniveauer på tværs af både waferkanten og midterregionerne. De korrigerer den elektriske feltfordeling ved waferkanten, hvilket reducerer ætsningshastigheden, kritiske dimensioner og morfologivariationer forårsaget af kanteffekter og sikrer således ætsningskonsistens på tværs af hele waferoverfladen. Hvis fokuseringsringen er meget slidt, eller der ikke er nogen fokalring, vil plasma diffundere fra waferkanten, hvilket i sidste ende forårsager ikke-overensstemmende afvigelser i linjebredden mellem kant- og midterområderne.

2. Beskyt den elektrostatiske borepatron

Fokusringe er normalt installeret uden for waferbæreroverfladen på de elektrostatiske patroner, direkte udsat for plasmabombardement og korrosion. Denne opsætning fungerer som den fysiske barriere for at forhindre plasma i at komme i kontakt med de elektrostatiske patroner under ætsningsprocessen, hvorved risikoen for plasmaskader reduceres markant. Fokusringe kan også forhindre biprodukter, der genereres under ætseprocessen, i at klæbe til de elektrostatiske patroner og dermed undgå ydeevneforringelse forårsaget af patronens forurening og tilstopning. Dette forlænger i høj grad de elektrostatiske patroners vedligeholdelsescyklus og levetid, hvilket reducerer udstyrsvedligeholdelse og udskiftningsomkostninger.

Fokusringe er almindeligvis lavet af høj renhedkvarts, siliciumogsiliciumcarbidmaterialer. Takket være deres fremragende omfattende ydeevne bliver siliciumcarbidmaterialer gradvist den almindelige mulighed for banebrydende ætsningsprocesser. Som en betroet leverandør af fokusringe af halvledere i Kina tilbyder Semicorex høj kvalitetfokusringe af siliciumcarbidaf forskellige størrelser for at matche de forskellige krav til ætseudstyr. Semicorex modtager gerne dine forespørgsler og køb til enhver tid.