Hvad er cantilever paddles?

Under halvlederwaferbehandling bruges specialiserede ovne til at opvarme waferne. Disse ovne indeholder aflange cylindriske rør, hvor waferne er placeret på waferbåde på forudbestemte og lige afstande. For at sikre, at forarbejdningsudstyret ikke spilder waferne og for at modstå behandlingsforholdene i kammeret, er waferbåde og andre enheder, der bruges til waferbehandling, fremstillet af materialer som siliciumcarbid (SiC).

Waferbådene, fyldt med et parti wafers, der skal behandles, er placeret på lange udkragede skovle. Disse skovle kan indsættes i og trækkes ud af de rørformede ovne og reaktorer. Pagajerne består af en fladtrykt bæresektion, der kan rumme en eller flere både, og et langt håndtag placeret i den ene ende af den flade bæresektion for nem håndtering.

For de bedste komponenter i halvlederbearbejdning anbefales det at bruge en udkraget skovl lavet af omkrystalliseret siliciumcarbid med et CVD SiC tyndt lag. Dette materiale er af høj renhed og er det bedste valg til sådanne komponenter.

Semicorex fremstiller tilpassede cantilever-padler med højkvalitets CVD SiC-belægning. Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com