Hjem > Nyheder > Industri nyheder

Belægning i det termiske felt af halvleder silicium enkeltkrystaller

2024-01-08

De coatede dele i halvledersilicium enkeltkrystal varmt felt er generelt coatet ved CVD-metoden, inklusive pyrolytisk kulstofbelægning,Siliciumcarbid belægningogTantalcarbid belægning, hver med forskellige egenskaber.


Fælles punkter: substratet er isostatisk grafit med høj renhed, generelt mindre end 5 ppm aske; belægning bruges CVD metode; belægning er grundlæggende 100% kulstof eller siliciumcarbid; efter belægning er overfladen relativt tæt, gassen, især ovnens siliciumdamp eller siliciumoxidgassen kan grundlæggende blokeres; dens egen støvfordampning er også meget lille.


Forskelle: standardtykkelsen af ​​belægningen, pyrolytisk carbonbelægning er generelt omkring 40um; Siliciumcarbidbelægning udføres generelt omkring 100um, men i henhold til kundernes forskellige behov kan det udføres 30um~150um, inklusive en belægning og to belægninger; tantalcarbid belægning er generelt 35±15um.


Pyrolytisk kulstofbelægning, dens massefylde svarer til den for ikke-porøs grafit, hvilket er omkring 2,2. Den har lav resistivitet og høj termisk ledningsevne i overfladens parallelle retning, så den kan holde overfladetemperaturens konsistens, og den har også en lav termisk udvidelseskoefficient og et højt elasticitetsmodul. I overfladens vinkelrette retning er termisk udvidelseskoefficient større, og varmeledningsevnen er lavere.


For siliciumcarbid-belagte produkter er belægningens elasticitetsmodul meget høj, titusindvis af gange højere end elasticitetsmodulet for det indre grafitsubstrat, så for at undgå produktbrud, skal det håndteres forsigtigt.


Pyrolytisk kulstofbelægning og siliciumcarbidbelægning af al urenhedsindholdet er mindre end 5 ppm, hvor hovedmetalelementindholdet er mindre end 0,1 eller 0,01 ppm, jo ​​sværere at håndtere borelementet er 0,01 eller 0,15 ppm.



Semicorex tilbyder højkvalitets CVD-belægningsprodukt til halvledere med tilpasset service. Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.


Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com



X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept