Hvorfor vælge SiC-belagte grafitsusceptorer?

Grafit susceptorer en af ​​de væsentlige dele i MOCVD-udstyret, er bæreren og varmelegemet til wafersubstratet. Dens egenskaber af termisk stabilitet og termisk ensartethed spiller en afgørende rolle i kvaliteten af ​​wafer epitaksial vækst, som direkte bestemmer ensartetheden og renheden af ​​lagmaterialerne, som et resultat af dets kvalitet direkte påvirker forberedelsen af ​​epitaksi. I mellemtiden, med stigningen i antallet af anvendelser og ændringer i arbejdsforhold, er det meget let at miste, og det hører til forbrugsstofferne. Grafitens fremragende varmeledningsevne og stabilitet gør det til en god fordel somen basiskomponent til MOCVD-udstyr. Men hvis der kun bruges ren grafit, vil det støde på nogle problemer. Der vil være ætsende gas og metalorganiske rester i produktionsprocessen, og grafitbasen vil korrodere og falde af pulveret, hvilket i høj grad reducerer levetiden afgrafit susceptor, og det faldne grafitpulver vil også forårsage forurening af chippen, så i forberedelsen af ​​basen også Disse problemer skal løses under forberedelsen af ​​basen. Belægningsteknologien kan give overfladepulverfiksering, forbedre termisk ledningsevne og udligne termisk fordeling, hvilket bliver hovedteknologien til at løse dette problem. Den vigtigste teknologi er at løse dette problem. I henhold til applikationsmiljøet og kravene tilgrafit susceptorer, skal overfladebelægningen have følgende egenskaber.

Høje tætheder og fuld indpakning: grafitbasen som helhed er i et højtemperatur, ætsende arbejdsmiljø, overfladen skal være fuldt indpakket, mens belægningen skal have gode tætheder for at spille en god beskyttende rolle.

God overfladeplanhed: Da den grafitbase, der anvendes til enkeltkrystalvækst, kræver en meget høj overfladeplanhed, skal den oprindelige planhed af basen bibeholdes efter belægningen er klargjort, dvs. belægningsoverfladen skal være ensartet.

God bindingsstyrke: Reduktion af forskellen i termisk udvidelseskoefficient mellem grafitbase og belægningsmateriale kan effektivt forbedre bindingsstyrken mellem dem, og belægningen er ikke let at knække efter termiske cyklusser ved høj og lav temperatur.

Høj termisk ledningsevne: Højkvalitets spånvækst kræver hurtig og ensartet varme fra grafitbasen, så belægningsmaterialet bør have høj varmeledningsevne.

Højt smeltepunkt, høj temperatur oxidation og korrosionsbestandighed: Belægningen skal kunne fungere stabilt i høje temperaturer og korrosive arbejdsmiljøer.