Hjem > Nyheder > Industri nyheder

Hvad er SOI

2023-06-19

Silicium-på-isolator (SOI) er anerkendt som en af ​​løsningerne til at erstatte eksisterende monokrystallinske siliciummaterialer i nanoteknologiens æra og er et vigtigt værktøj til at opretholde Moores lov-trend. Silicium-på-isolator, en substratteknologi, der erstatter traditionelt bulksubstratsilicium med et "konstrueret" substrat, har været brugt i mere end 30 år i specialiserede applikationer såsom militær- og rumelektroniksystemer, hvor SOI har unikke fordele på grund af dets fremragende strålingsmodstand og højhastighedsegenskaber.




SOI-materialer er grundlaget for udviklingen af ​​SOI-teknologi, og udviklingen af ​​SOI-teknologi afhænger af den kontinuerlige udvikling af SOI-materialer. Manglen på billige SOI-materialer af høj kvalitet har været den primære begrænsning for SOI-teknologi til at komme ind i storskala industriel produktion. I de senere år, med modenheden af ​​SOI-materialeforberedelsesteknologi, er det materialeproblem, der begrænser udviklingen af ​​SOI-teknologi, gradvist ved at blive løst, hvilket i sidste ende omfatter to typer SOI-materialepræpareringsteknologi, nemlig Speration-by-oxygen implantation (SIMOX) og bindingsteknologi. Bindingsteknologien inkluderer den traditionelle Bond and Etch back-teknologi (BESOI) og Smart-cut-teknologien, der kombinerer hydrogenion-injektion og binding foreslået af M. Bruel, en af ​​grundlæggerne af SOITEC i Frankrig, samt Simbond SOI-materialeforberedelsen, der kombinerer iltisolering og binding foreslået af Dr. Meng Chen i 2005. Den nye teknologi kombinerer iltindsprøjtningsisolering og binding.


X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept