At kende Cantilever Paddle

Under forarbejdning skal halvlederwafere normalt opvarmes i en specialiseret ovn. Sådanne ovne består typisk af lange, tynde, cylindriske rør. Skiverne er placeret i ovnen og reaktoren på en sådan måde, at de er arrangeret langs et plan defineret af det cirkulære tværsnit af ovnen eller reaktoren og er anbragt med indbyrdes afstand på forudbestemte, sædvanligvis lige store, punkter langs den centrale akse af ovnen eller reaktoren. ovn eller reaktor. For at opnå denne positionering placeres waferne typisk på slidsede holdere, kaldet waferbåde, som placerer waferne i en adskilt konfiguration på linje langs den centrale akse.

Små både, der indeholder partier af wafers, der skal behandles, placeres på lange udkragede skovle, gennem hvilke rørformede ovne og reaktorer kan indsættes og trækkes ud. Sådanne pagajer indbefatter typisk en flad bæresektion, hvorpå en eller flere små både kan placeres, og et langt håndtag, placeret i den ene ende af den flade bærersektion, ved hjælp af hvilket pagajerne kan håndteres. En overgangsdel er sædvanligvis dannet mellem håndtaget og bæredelen for at gøre dem til en helhed. Håndtaget skal også strække sig ud af ovnen eller reaktoren, så det og waferbåden kan manipuleres.

Placeringen af ​​waferskibet inde i ovnen eller reaktoren er vigtig, fordi det er ønskeligt at placere midten af ​​hver wafer så tæt som muligt på ovnens eller reaktorens centrale akse for at opnå ensartede behandlingsbetingelser, som waferne udsættes for. Derfor skal bøjningen af ​​skovlen forårsaget af vægten af ​​det skib, der bærer vaflerne, tages i betragtning i skovldesignet, især da skovlen er understøttet i kun den ene ende, dvs. den ende, der rager ud fra ovnkammeret. Ud over at tage hensyn til pagajens design som følge af de operationelle vægtkrav, skal der også bruges et sæt klemmer designet til præcist at holde den forlængede ende af pagajen på plads. Disse klemmer skal være ret robuste for at holde pagajen i en præcis ønsket position, samtidig med at de er nemme at bruge og minimerer muligheden for beskadigelse af pagajen under fastspænding.

Derfor var der behov for en cantilever-pagaj, der kunne bruges med en tungere belastning og samtidig forblive kompatibel med eksisterende spændesystemer. Der var også behov for en cantilever-pagaj, der udviste acceptable afbøjningsegenskaber over hele rækken af ​​vægtbelastninger, den kunne bruges med.

cantilever paddle anbefales til at bruge rekrystalliseret siliciumcarbid med et CVD SiC tyndt lag, som er høj renhed og bedste valg for komponenterne i halvlederbehandling.

Semicorex kan leverehøj kvalitetcantilever pagajerogskræddersyede ydelser efter tegninger og arbejdsmiljø.