Udglødningsprocesser i moderne halvlederfremstilling

Efterhånden som teknologiknudepunkterne fortsætter med at skrumpe, giver dannelsen af ​​ultra-fladvande krydsninger betydelige udfordringer. Termiske udglødningsprocesser inklusiveHurtig termisk udglødning (RTA)og flashlampe annealing (FLA) er vitale teknikker, der opretholder høje urenhedsaktiveringshastigheder, mens diffusion minimeres, hvilket sikrer optimal enhedsydelse.

1. Ultra-Shallow Junction Formation:

Efterhånden som teknologiknudepunkter krymper, bliver det mere og mere udfordrende at danne ultra-fladvandede kryds. Teknikker som hurtig termisk udglødning (RTA) og flash lamp annealing (FLA) er afgørende for at opnå høje urenhedsaktiveringshastigheder og samtidig minimere diffusion og derved sikre optimal enhedsydelse.

2. Ændring af High-k Gate Dielectrics:

Post-deposition annealing (PDA) forbedrer betydeligt de elektriske egenskaber af high-k gate dielektrikum. Denne proces reducerer gate-lækstrømme og øger dielektriske konstanter, som er afgørende for avanceret logik og hukommelsesenheder.

3. Dannelse af metalsilicider:

Optimeringen af ​​metalsilicider, såsom CoSi og NiSi, er afgørende for at forbedre kontakt- og bulkmodstanden. Præcis kontrol over udglødningsbetingelserne letter skabelsen af ​​ideelle legeringsfaser, hvilket øger den samlede enhedseffektivitet.

4. 3D-integrationsteknologier:

I teknologier som 3D NAND og 3D DRAM skal udglødningsprocesser anvendes på tværs af flere lag. Hurtige termiske teknikker spiller en nøglerolle for at sikre, at hvert lag opnår optimal ydeevne.

Udglødning er kritisk i halvlederfremstilling, hvilket muliggør reparation af gitterskader, aktivering af urenheder, filmmodifikation og metalsiliciddannelse gennem præcis kontrol af temperatur, tid og termiske budgetter. Efterhånden som teknologinoder krymper, avancerede udglødningsmetoder som f.eksRTA, FLA og laser spike annealing er blevet mainstream. Ser vi fremad, vil udglødningsprocessen fortsætte med at innovere for at imødekomme kravene fra nye materialer og enheder.

Semicorex tilbyder brancheførendeudglødningsløsninger, hvilket sikrer, at dine halvlederenheder opfylder de højeste ydeevnestandarder med præcision og pålidelighed.

Hvis du har spørgsmål eller brug for yderligere detaljer, så tøv ikke med at kontakte os.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com