Strukturelle forskelle mellem forskellige typer reaktorer

Baseret på reaktionskammerkonfigurationen er varmebehandlingsudstyr (ovnrørsudstyr) hovedsageligt opdelt i tre kategorier: lodrette ovnrør, horisontale ovnrør og hurtige termiske processer (RTP) ovne.

Lodrette ovnrør har lodret anbragte kvartsrør, hvor skiverne er placeret rundt om rørene til opvarmning. Deres vigtigste fordele er ensartet temperaturfordeling, præcis atmosfærekontrol, høj automatisering, mindre partikelforurening, lille fodaftryk og støtte til batchbehandling (især velegnet til 12-tommer wafers), hvilket gør dem til det almindelige udstyr, der er tilgængeligt i øjeblikket. Den globale markedsstørrelse nåede $3,2 milliarder i 2024 (SEMI-data). Deres ulemper omfatter let gas-væske adskillelse, og den nedadgående strøm af mediet, der potentielt får ovnrøret til at brænde ud.

Vandrette ovnrør har vandret placerede kvartsrør, der behandler 100-200 wafers ad gangen. Deres fordele omfatter ensartet gas-væske-flow i ovnrøret og mere præcis temperaturkontrol. Deres ulemper omfatter et større fodaftryk og et højere forbrug af mellemrørsstøtter af højlegeret stål. Strukturelt placerer vandrette ovnrør vaflerne lodret inden i vandrette rør til behandling.

Hurtig termisk udglødning (RTP) ovne bruger halogen infrarøde lamper til hurtigt at opvarme enkelte wafere, hvilket giver hurtige opvarmnings- og afkølingshastigheder, der kun ændrer wafertemperaturen uden at ændre kammertemperaturen. De er velegnede til hurtig udglødning i små partier, men ikke til masseproduktion.

Ved waferbehandling placerer vandrette ovnrør waferen på en kvartsbåd, som igen hviler på en siliciumcarbid (SiC) støtteramme. Støtterammen skubbes derefter ind i kvartsovnsrøret, hvor waferen gennemgår reaktionen i en konstant temperaturzone. Lodrette ovnrør, på den anden side, placerer waferen på et kvartstårn og hæver det langsomt ind i kvartsovnsrøret til forarbejdning. Efter reaktionen sænkes waferen langsomt for at forhindre bøjning eller brud.

Semicorex leverer skræddersyet høj kvalitetkvartsovnsreaktor. Vores produkter er konstrueret til at levere overlegen termisk stabilitet, forlænget levetid og enestående proceskonsistens. For skræddersyede løsninger eller yderligere teknisk information, er du velkommen til at kontakte vores ingeniørteam.

Telefon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com