Krystallvækstovnen er kerneudstyret til vækst af siliciumcarbidkrystaller. Det svarer til den traditionelle krystallinske silicium-kvalitet krystalvækstovn. Ovnstrukturen er ikke særlig kompliceret. Det er hovedsageligt sammensat af ovnlegemet, varmesystemet, spiraltransmissionsmekanismen, vakuumind......
Læs mereBag hver høje temperaturproces i Wafer-fremstilling ligger en stille, men alligevel afgørende spiller: Wafer Boat. Som kernerbæreren, der direkte kontakter siliciumskiven under skivens behandling, er dens materiale, stabilitet og renlighed direkte relateret til det endelige chipudbytte og processtab......
Læs mere