> Nyheder

Nyheder

Kerneparametrene i tørætsning

Tørætsning er en hovedteknologi i fremstillingsprocesserne af mikro-elektromekaniske systemer. Ydeevnen af tør ætsningsprocessen udøver en direkte indflydelse på den strukturelle præcision og operationelle ydeevne af halvlederenheder. For præcist at kontrollere ætseprocessen skal man være meget op......

Læs mere

Hvorfor bøjer sidevæggene under tørætsning

Tørætsning er typisk en proces, der kombinerer fysiske og kemiske handlinger, hvor ionbombardement er en afgørende fysisk ætsningsteknik. Under ætsning kan indfaldsvinklen og energifordelingen af ioner være ujævn.

Læs mere

Hvad er den aerostatiske glidebane af siliciumcarbid?

Siliciumcarbid aerostatisk glidebane er et avanceret styresystem, der kombinerer siliciumcarbids materialeegenskaber og aerostatisk teknologi. Som den optimale løsning til højpræcision, høj pålidelighed og langsigtede bevægelsessystemer, er siliciumcarbid aerostatisk glidebane meget udbredt inden fo......

Læs mere

SiC-krystaller fremstillet ved PVT-metoden

Den almindelige metode til fremstilling af enkeltkrystaller af siliciumcarbid er metoden med fysisk damptransport (PVT). Denne metode består hovedsageligt af et hulrum i kvartsrør, et varmeelement (induktionsspole eller grafitvarmer), isoleringsmateriale af grafitkulfilt, en grafitdigel, en silicium......

Læs mere

Hvad er SOI?

SOI, forkortelse for Silicon-On-Insulator, er en halvlederfremstillingsproces baseret på specielle substratmaterialer. Siden dens industrialisering i 1980'erne er denne teknologi blevet en vigtig gren af avancerede halvlederfremstillingsprocesser. SOI-processen, der er kendetegnet ved sin unikke ......

Læs mere

Overfladebehandling til high-end elektrostatisk chuck

Den elektrostatiske Chuck udfører flere funktioner såsom ensartet elektrostatisk udladning, varmeledning og waferadsorption og fiksering inden for halvlederfremstilling. En af kernefunktionerne i ESC er stabilt at adsorbere wafere under ekstreme driftsforhold såsom højt vakuum, stærkt plasma og et b......

Læs mere

<1 2 3 4 5...47 >