Ved præcist at regulere opvarmnings- og afkølingsprofiler kan udglødningsprocessen aktivere dopingatomer, reparere gitterskader, aflaste intern stress og forbedre den elektriske pålidelighed af wafere. Disse kritiske ydeevneforbedringer lægger et solidt grundlag for efterfølgende waferbehandling, de......
Læs mereKeramiske vakuumpatroner er værktøjer, der bruges til at fastspænde og bære halvlederwafere i fremstilling af halvlederwafere. De har høj fladhed og parallelitet, tæt og ensartet struktur, høj styrke, god luftgennemtrængelighed, ensartet adsorptionskraft og let trimning. De er velegnede til processe......
Læs mereKerneformålet er at opnå waferoverfladetemperaturens ensartethed (≤±0,5–5℃) og temperatur/flowfeltstabilitet og derved forbedre ensartetheden af epitaksial lagtykkelse (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 μm/t).
Læs mereC/C-kompositter besidder adskillige fremragende egenskaber og er i øjeblikket de eneste kompositmaterialer, der er i stand til at fungere ved høje temperaturer over 2600°C i inerte atmosfærer, hvilket gør dem bredt anvendelige i rumfarts-, våben-, atomenergi-, metallurgi- og kemiske industrier.
Læs mereSom det uundværlige substratmateriale i den banebrydende halvlederindustri udviser siliciumcarbidskiver fremragende termiske og elektriske egenskaber og kan prale af brede anvendelsesmuligheder inden for højtemperatur, højfrekvent, højeffekt og strålingsbestandig integreret elektronisk udstyr.
Læs mereKombinationen af blød filt og stiv/stiv filt involverer i det væsentlige at balancere tre ting: varmeledning (faststof/gasfase), strålingsvarmeoverførsel og struktur og samling. Fokusering på kun én indikator (såsom den laveste varmeledningsevne ved høje temperaturer) vil normalt føre til probleme......
Læs mere