Vakuumpatronen er forbundet til vakuumudstyret via et forbindelsesrør. Når vakuumpatronen kommer i kontakt med emnet, såsom en wafer/tyndt filmmateriale, begynder vakuumudstyret at arbejde, hvilket skaber et undertryk inde i vakuumpatronen. Under atmosfærisk tryk klæber emnet fast til vakuumpatron, ......
Læs mereHalvlederkvartsovnsrør er den væsentlige komponent, der er meget udbredt i de vigtigste halvlederfremstillingsprocesser, såsom diffusion, oxidation, udglødning. Det skal stabilt opretholde fysiske og kemiske egenskaber, selv når det skal udsættes for langvarigt driftsmiljø for høj temperatur, intens......
Læs mereSiliciumcarbid-keramiske membraner, der skiller sig ud som de bedste filtrerings- og rensningsteknologier, betragtes som det foretrukne materiale til at håndtere komplekse spildevandsbehandlingsudfordringer. Siliciumcarbid keramiske membraner leverer enestående ydeevne, der gør dem til den uovertruf......
Læs mereTørgastætningssystemet er det berøringsfrie akseltætningssystem, der bruger gas som driftsmedium. Ved at bearbejde hydrodynamiske riller på tætningsfladerne, udnytter tørgastætningssystemer den hydrodynamiske effekt, der genereres under rotation, til at danne en stabil gasfilm mellem tætningsfladern......
Læs mereSOI (Silicon-On-Insulator) substrat er en struktur, hvori et siliciumoxid (SiO2) isolerende lag indføres mellem et øverste siliciumlag og et siliciumsubstrat, og integrerede kredsløb er fremstillet på det øverste silicium tynde lag. Denne teknologi til at bruge SOI-materialer til at fremstille integ......
Læs mere