Siliciumcarbid keramik er blandt de mest udbredte materialer i strukturel keramik. På grund af deres relativt lave termiske ekspansion, høje specifikke styrke, høje termiske ledningsevne og hårdhed, slidstyrke og korrosionsbestandighed, og vigtigst af alt, deres evne til at opretholde en god ydeevne......
Læs mereHalvledermaterialer er materialer med elektrisk ledningsevne mellem ledere og isolatorer ved stuetemperatur, som er meget udbredt inden for områder som integrerede kredsløb, kommunikation, energi og optoelektronik. Med udviklingen af teknologien har halvledermaterialer udviklet sig fra den første ......
Læs mereFokusringe er de væsentlige komponenter for at sikre ensartetheden og stabiliteten af halvlederætsningsprocesserne. Gennem præcis kontrol af elektriske og termiske felter kan fokusringe koncentrere plasma på waferens overflade, hvilket sikrer ensartede ætsningsresultater på tværs af alle steder på......
Læs mereSiliciumcarbid har god kemisk stabilitet og kan modstå forskellige stærkt ætsende sure og alkaliske medier, hvilket gør den velegnet til mekaniske tætninger i ætsende medier. Korrosivt slid er en væsentlig form for svigt for friktionsparmaterialer. Varmpresset sintret siliciumcarbid danner en beskyt......
Læs merePartikeldefekter refererer til de små partikelindeslutninger inde i eller på halvlederskiverne. De kan beskadige den strukturelle integritet af halvlederenheder og forårsage elektriske fejl såsom kortslutninger og åbne kredsløb. Da disse problemer forårsaget af partikeldefekter alvorligt kan påvirk......
Læs mereLodrette ovne er lodret placerede højtemperaturvarmeanordninger, der er specielt designet til varmebehandling af halvlederfremstilling. Det komplette lodrette ovnsystem er sammensat af det højtemperaturbestandige ovnrør, varmeelementet, temperaturkontrolsystemet, gaskontrolsystemet og waferstøttestr......
Læs mere