Porøs grafit med TaC-coating

Semicorex porøs grafit med TaC-belægning kombinerer de unikke egenskaber ved porøs grafit med de beskyttende og forbedrende egenskaber ved en TaC-belægning, hvilket giver betydelige forbedringer i forhold til traditionelle materialer, der anvendes i højtemperaturdigler.

Selvom grafit og porøs grafit er meget udbredt på grund af deres termiske stabilitet og elektriske ledningsevne, udgør de betydelige udfordringer i højtemperaturmiljøer. Især porøs grafit foretrækkes på grund af dets høje permeabilitet, som tillader bedre gasflow og ensartet temperaturfordeling. Dens høje porøsitet gør den imidlertid mekanisk svag, hvilket fører til vanskeligheder med at bearbejde og forme materialet nøjagtigt. Derudover kan den porøse struktur resultere i partikelafgivelse, som forurener SiC-krystallerne. Porøs grafit er også modtagelig for kemisk ætsning og nedbrydning under høje temperaturer og reaktive miljøer, hvilket kompromitterer diglens integritet. På samme måde, mens Tantalcarbide (TaC) pulvere ofte bruges til at belægge eller blande med grafit for at forbedre dets egenskaber, kan deres ensartede påføring og vedhæftning være udfordrende, hvilket fører til ujævne overflader og potentiel forurening.

Produktet porøs grafit med TaC Coating overvinder effektivt ovenstående udfordringer ved at integrere de bedste egenskaber fra begge materialer:

Forbedret mekanisk styrke: TaC-belægningen øger markant den mekaniske styrke af den porøse grafit, hvilket gør den porøse grafit med TaC-belægning lettere at bearbejde og forme uden at kompromittere materialets strukturelle integritet.

Reduceret partikelafgivelse: TaC-belægningen danner et beskyttende lag over den porøse grafit, hvilket reducerer sandsynligheden for partikelafgivelse og kontaminering af SiC-krystallerne.

Forbedret kemisk resistens: TaC er meget modstandsdygtig over for kemisk ætsning og nedbrydning, hvilket giver en holdbar barriere, der beskytter den porøse grafit mod reaktive gasser og højtemperaturmiljøer.

Termisk stabilitet og ledningsevne: Både grafit og TaC udviser fremragende termisk stabilitet og ledningsevne. Kombinationen af ​​porøs grafit med TaC Coating sikrer, at diglen bevarer en ensartet temperaturfordeling, afgørende for den fejlfri vækst af SiC-krystaller.

Optimeret permeabilitet: Grafittens iboende porøsitet giver mulighed for effektiv gasstrøm og termisk styring, mens TaC-belægningen sikrer, at denne permeabilitet opretholdes uden at kompromittere materialets integritet.

Semicorex porøs grafit med TaC-belægning repræsenterer et betydeligt fremskridt inden for materialer, der bruges til SiC-krystalvækst. Ved at løse de mekaniske, kemiske og termiske udfordringer forbundet med traditionelt grafit- og TaC-pulver sikrer porøs grafit med TaC-coating SiC-krystaller af højere kvalitet med færre defekter. Kombinationen af ​​porøs grafits permeabilitet og TaCs beskyttende egenskaber tilbyder en robust løsning til højtemperaturapplikationer, hvilket gør det til et væsentligt materiale i produktionen af ​​avancerede halvledere og elektroniske enheder.