De fleste SiC-substratproducenter bruger i dag et digeldesign, der involverer en porøs grafitcylinder til varmfeltprocessen. Processen involverer at placere højrente SiC-partikler mellem grafitdigelens væg og den porøse grafitcylinder, mens diglen uddybes og dens diameter øges. Dette øger råmaterialets fordampningsareal, samtidig med at ladningsvolumenet øges.
Den nye proces løser problemet med krystalfejl, der opstår på grund af omkrystalliseringen af den øverste del af råmaterialet, når kildematerialets overflade vokser, hvilket påvirker fluxen af det sublimerede materiale. Desuden reducerer den nye proces følsomheden af temperaturfordelingen af råvareområdet over for krystalvækst, stabiliserer masseoverførselseffektiviteten, reducerer indflydelsen af kulstofindeslutninger i det sene vækststadium og forbedrer kvaliteten af SiC-krystaller yderligere. Derudover anvender den nye proces en frøfri krystalbakkefikseringsmetode, der ikke klæber til frøkrystallerne, hvilket frigør termisk ekspansion og letter stressaflastning. Denne nye proces optimerer det termiske felt og forbedrer i høj grad effektiviteten af ekspansionen.
Det er vigtigt at bemærke, at kvaliteten og udbyttet af SiC-enkeltkrystaller opnået ved denne nye proces i høj grad afhænger af de fysiske egenskaber af digelgrafitten og porøs grafit. Udbuddet på markedet er dog i øjeblikket meget kort i forhold til den voksende efterspørgsel.
Nøgleegenskaber ved porøs grafit:
Egnet porestørrelsesfordeling;
Tilstrækkelig høj porøsitet;
Mekanisk for at imødekomme krav til behandling og brug.
Semicorex tilbyder skræddersyede porøse grafitprodukter af høj kvalitet efter dine krav.
Semicorex porøst kulstof, er et avanceret højrent materiale til halvlederbehandling. Dette afgørende stykke udstyr spiller en central rolle i processen med enkeltkrystal SiC-vækst. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgselSemicorex porøse grafitmaterialer til Single Crystal SiC Growth Applications, er et specialiseret materiale, der bruges til halvlederbehandling. Dette afgørende stykke udstyr spiller en afgørende rolle for kvaliteten af enkeltkrystal SiC. Semicorex er forpligtet til at levere kvalitetsprodukter til konkurrencedygtige priser, vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Læs mereSend forespørgsel