Produkter

Fremstillet af højtydende CVD SiC-materialer, Semicorex CVD SiC-fokusring til 2L10-506419-21 er den afgørende ringdel, der er lavet specielt til TEL VIGUS RK4-udstyr, der bruges i præcisionshalvlederætsningsprocesserne. At vælge Semicorex betyder, at du får de ideelle CVD SiC-løsninger til at opnå præcise og ensartede ætsningsresultater.

Semicorex SiC-belagte planetariske susceptorer er højpræcisions grafitunderstøttende komponenter dækket med en tæt siliciumcarbidbelægning, specielt udviklet til det avancerede MOCVD-udstyr. De kan muliggøre ensartet gasstrøm og termisk fordeling og dermed bidrage til at skabe et optimalt epitaksielt miljø.

Semicorex SiC keramiske waferbåde er højtydende siliciumcarbidløsninger udviklet til sikkert at understøtte og transportere wafere under avanceret halvlederfremstilling. Takket være disse fremragende fordele er de velegnede til de præcise højtemperatur-halvlederfremstillingsprocesser som oxidations-, diffusions- og CVD-processer.

Semicorex SiC-belagte gasafledningsskiver er de uundværlige grafitkomponenter, der anvendes i det halvlederepitaksiale udstyr, designet specielt til at regulere reaktionsgasstrømmen og fremme ensartet gasfordeling i reaktionskammeret. Vælg Semicorex, vælg de optimale gasafledningsløsninger for højkvalitets waferepitaksiale resultater.

Semicorex SiC Wafer Carrier er lavet af siliciumcarbidkeramik med høj renhed, gennem 3D-printteknologi, hvilket betyder, at den kan opnå højværdibearbejdningskomponenter inden for kort tid. Semicorex anses for at levere de kvalificerede produkter af høj kvalitet til vores globale kunder.*

Semicorex CVD SiC-belagte øvre jordringe er de essentielle ringformede komponenter, der er udviklet specielt til det sofistikerede plasmaætsningsudstyr. Som den brancheførende leverandør af halvlederkomponenter fokuserer Semicorex på at levere højkvalitets, langtidsholdbare og ultra-rene CVD SiC-belagte øvre jordringe for at hjælpe vores værdsatte kunder med at forbedre driftseffektiviteten og den overordnede produktkvalitet.