SiC-coatede planetariske susceptorer

Semicorex SiC-belagte planetariske susceptorer er uundværlig støttekomponent designet til epitaksial halvledervækst i Aixtron G2-udstyr, hvor de er i stand til sikkert at understøtte wafere og rotere i en planetbevægelse. På denne måde kan den præcise termiske ensartethed og ensartede gasfordeling på tværs af waferoverfladen opnås, hvilket resulterer i epitaksial lagaflejring af høj kvalitet på wafers.

Fordele ved Semicorex SiC-coatede planetariske susceptorer

1. Multi-wafer lommedesign

Semicorex SiC-belagtplanetariske susceptorerhar en ensartet fordeling af flere waferlommer med præcist kontrollerede dimensioner. Disse waferlommer er i stand til at holde fast på wafersubstraterne under den epitaksiale vækstproces, hvilket effektivt kan minimere epitaksiale procesvariationer forårsaget af den uønskede bevægelse af wafersubstrater. Derudover tillader dette multi-wafer-lommedesign flere wafer-substrater at gennemgå epitaksial aflejring samtidigt i en enkelt proceskørsel, hvilket i høj grad forbedrer den samlede effektivitet af den epitaksiale vækstproces.

2. Optimeret gasstrømshularrangement

Semicorex inkorporerer et omhyggeligt konstrueret sæt gasstrømningskanaler i sinSiC-belagtplanetariske susceptorer, som forfiner optimering af gasstrømningsdynamik og termisk ensartethed på tværs af waferoverfladen gennem hele den epitaksiale proces. Dette gennemtænkte design muliggør nøjagtig kontrol over gasstrømningshastigheden og distributionen inde i reaktionskammeret, hvilket er afgørende for at opnå tynde film af høj kvalitet, ensartet lagtykkelse og pålidelig overordnet enhedsydelse.

3. Ultrahøj renlighed

Semicorex SiC-belagte planetariske susceptorer er fremstillet med materialer med ultrahøj renhed og ekstremt lave urenhedsniveauer, hvilket fuldt ud opfylder de strenge renhedskrav ved fremstilling af halvledere. De minimerer effektivt waferforurening forårsaget af metallisk udgasning, selv under de høje temperaturer og korrosive forhold, der er typiske for epitaksiale processer.

4. Langvarig levetid

Semicorex' kvalitetskontrol begynder med vores strenge udvalg af råvarer. SiC-belagte planetsusceptorer er præcisionsfremstillet af grafit og siliciumcarbid af halvlederkvalitet, der tilbyder fremragende højtemperaturbestandighed og korrosionsbestandighed, hvilket gør dem perfekt til at modstå de udfordrende høje temperaturer, meget korrosive epitaksiale driftsforhold. Med disse fremragende materialeegenskaber kan Semicorex SiC-belagte planetsusceptorer bevare deres ensartede ydeevne og strukturelle integritet og undgå deres overfladebeskadigelse og ydeevnenedgang i højtemperatur- og højkorrosionsreaktionskamre, hvilket derved i høj grad forlænger SiC-belagte planetsusceptorers levetid.