Produkter

Semicorex solide CVD SiC-ringe er højtydende ringformede komponenter, der hovedsageligt anvendes i reaktionskamrene i plasmaætsningsudstyr i den avancerede halvlederindustri. Semicorex solide CVD SiC-ringe gennemgår streng materialevalg og kvalitetskontrol, der tilbyder uovertruffen materialerenhed, exceptionel plasmakorrosionsbestandighed og ensartet driftsydelse.

Semicorex SiC-tætninger er højtydende mekaniske overfladekomponenter konstrueret til at give overlegen slidstyrke, termisk stabilitet og universel kemisk inertitet i de mest krævende roterende udstyrsmiljøer. Semicorex er en professionel SiC keramisk materialeleverandør, som kan levere højpræcisionsprodukter til globale kunder.*

Semicorex SiC Pidestal er en højpræcision, multifunktionel hardwarekomponent designet til at give den termiske stabilitet og indviklede væskefordeling, der kræves til avancerede mikrokanalreaktionssystemer. Semicorex har specialiseret sig i konstruktion og levering af disse højrente SiC-sokler i henhold til kundernes behov.*

Semicorex SiC-belagte grafit-jigs er de væsentlige grafitkomponenter, der er dækket med en tæt og ensartet SiC-belægning. Kombineret med fremragende egenskaber af både grafit og siliciumcarbid, udfører Semicorex SiC-belagte grafit jigs pålideligt under de komplekse halvlederpaknings- og testbetingelser.

Semicorex SiC Keramisk Vacuum Chuck er fremstillet af højrent Sintered Dense Silicon Carbide (SSiC), er den definitive løsning til højpræcisions waferhåndtering og udtynding, der giver uovertruffen stivhed, termisk stabilitet og sub-mikron fladhed. Semicorex er ivrige efter at levere produkter af høj kvalitet og omkostningseffektive til kunder i hele verden.*

Semicorex CVD SiC-belagte ovnrør er de avancerede rørformede komponenter, der er specielt fremstillet til højtemperaturhalvlederbehandling, såsom oxidation, diffusion og udglødning af halvlederwafere. Ved at udnytte avancerede behandlingsteknologier og moden produktionserfaring er Semicorex forpligtet til at levere de præcisionsbearbejdede CVD SiC-belagte ovnrør med markedsledende kvalitet til vores værdsatte kunder.