Hos Semicorex har vi designet PSS Etching Carrier Tray til LED specifikt til de barske miljøer, der kræves til epitaksial vækst og waferhåndteringsprocesser. Vores ultra-rene grafitbærer er ideel til tyndfilmaflejringsfaser som MOCVD, epitaksi-susceptorer, pandekage- eller satellitplatforme og waferhåndteringsbehandling såsom ætsning. Den SiC-belagte bærer har høj varme- og korrosionsbestandighed, fremragende varmefordelingsegenskaber og en høj varmeledningsevne. Vores PSS Etching Carrier Tray til LED er omkostningseffektiv og giver en god prisfordel. Vi henvender os til mange europæiske og amerikanske markeder og ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Semicorex's PSS Etching Carrier Tray til LED er konstrueret til barske miljøer, der kræves til epitaksial vækst og waferhåndteringsprocesser. Vores ultra-rene grafitbærer er designet til at understøtte wafers under tyndfilmsdeponeringsfaser som MOCVD og epitaksi-susceptorer, pandekage- eller satellitplatforme. Den SiC-belagte bærer har høj varme- og korrosionsbestandighed, fremragende varmefordelingsegenskaber og en høj varmeledningsevne. Vores produkter er omkostningseffektive og har en god prisfordel. Vi henvender os til mange europæiske og amerikanske markeder og ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores PSS Etching Carrier Tray til LED.
Parametre for PSS Etching Carrier Tray til LED
Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning |
||
SiC-CVD egenskaber |
||
Krystal struktur |
FCC β-fase |
|
Tæthed |
g/cm³ |
3.21 |
Hårdhed |
Vickers hårdhed |
2500 |
Kornstørrelse |
μm |
2~10 |
Kemisk renhed |
% |
99.99995 |
Varmekapacitet |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimeringstemperatur |
℃ |
2700 |
Feleksural styrke |
MPa (RT 4-punkts) |
415 |
Youngs modul |
Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) |
430 |
Termisk udvidelse (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Termisk ledningsevne |
(W/mK) |
300 |
Funktioner af PSS Etching Carrier Tray til LED
- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader
Højtemperaturoxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C
Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.
Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster
- Garanterer ensartethed af termisk profil
- Undgå enhver forurening eller diffusion af urenheder