Lodrette Quartz Wafer-både

I halvlederfremstillingsprocesser skal halvlederkomponenter i reaktionskammeret opfylde strenge standarder for høj renhed. Ellers kan selv mikroskala eller nanoskala urenheder eller kontaminanter forårsage irreversibel skade på ydeevnen og udbyttet af halvlederenheder.

Quartz wafer bådeer almindeligvis installeret lodret i højtemperaturreaktionskamre som diffusionsovne, oxidationsovne og udglødningsovne, hvor de skal være i direkte kontakt med waferne. Semicorex’ lodrette kvartswaferbåde er fremstillet af højrente kvartsmaterialer for at opfylde disse høje renhedskrav. Dette kloge materialevalg undgår effektivt waferforurening forårsaget af reaktanter frigivet fra waferbådene under fremstillingsprocessen.

I halvlederfremstilling er waferbåde forpligtet til ikke kun at gennemgå gentagne opvarmnings- og afkølingscyklusser, men også modstå korrosion af procesgasser over længere tid. Semicorex’ lodrette kvartsoblatbåde udviser enestående dimensionsstabilitet under de udfordrende driftsforhold med konstant termisk cykling på grund af deres iboende termiske stabilitet. Disse overlegne termiske egenskaber forhindrer waferdeformation og skader forårsaget af præcisionsnedbrydning eller strukturel deformation af de vertikale kvartswaferbåde. Hvad mere er, takket være deres høje kemiske inerthed kan vertikale kvartswaferbåde være modstandsdygtige over for reaktionen med ætsende gasser som oxygen, vanddamp, hydrogenchlorid og ammoniak. Denne egenskab reducerer i høj grad muligheden for, at kemisk korrosion vil kompromittere den strukturelle integritet af de vertikale kvartswaferbåde.

Ud over de præstationsfordele, der er nævnt ovenfor, demonstrerer Semicorex' vertikale kvartswaferbåde også fremragende konkurrenceevne i dimensionsnøjagtighed og strukturelt design. Hver del af dem er fremstillet ved præcisionsbearbejdningsteknikker. Denne præcise dimensionskontrol sikrer nøjagtig waferpositionering og minimerer ridser og revner forårsaget af forskydning eller kollisioner under lastning, behandling og aflæsning.