Kvarts flydende opbevaringstank

Semicorex Quartz Liquid Storage Tank er en specialbygget beholder til halvleder våde rene applikationer, hvor væskehåndtering kræver et ekstraordinært niveau af renhed og stabilitet af materialer. Primært bruges denne tank til opsamling af affald eller resterende væsker fra Wafer -rengøringsapplikationer. Det er uvurderligt til procesproduktivitet og forureningskontrol. Under en våd ren proces involverer skylning af skylning af halvleder store volumener af ultrapurvand eller kemiske reagenser, der bliver affaldsvæske i slutningen af ​​skylningen. Derudover skal restvæske efter skylning indsamles, fordi den har potentielle sporforureninger eller værdifulde kemiske bestanddele, som ikke må gå ned i drænet. Affaldsvæske skal også opsamles, når der udføres belægningstrin, såsom fotoresistiske applikationer, hvor der skal opsamles ekstra rester eller affaldskemikalier. Således har Quartz Liquid Storage Tank de perfekte leverancer til at tilvejebringe høj renhed, kemisk kompatibilitet og lave forurenende egenskaber.

Tanken er lavet af smeltet kvarts med høj renhed, der er meget resistent over for stærke syrer, alkalier og opløsningsmidler, der regelmæssigt anvendes i halvlederrensning og litografi. Uanset om en konventionel container, kvarts giver brikkerne flydende materiale den bedste chance for ingen sekundær kontaminanteksponering, udvaskning eller uønsket ioneksponering. Et af de førende aspekter af den kvarts flydende opbevaringstank er evnen til at understøtte analytiske arbejdsgange i halvlederfabs, da de resterende væsker, der er indsamlet i et kvartsskib, kan bruges i nedstrøms processer, såsom urenhedsdetektion, forureningsanalyse og kemisk genanvendelse. Iboende med egenskaberne ved kvarts, kan det med sikkerhed indeholde resterende væsker og muliggøre visuel vurdering uden risiko for interaktion i betragtning af dens inertitet og gennemsigtighed, ud over dens termiske stabilitet, som tillader, at enhver væske i tanken mildt fremskyndes til enhver processtemperatur uden risiko for at nedbryde eller påvirke væsken. Når det er sagt, er den kvarts flydende opbevaringstank designet til både affaldsindsamling og kortvarig opbevaring, før de overføres eller behandles.

Hver detalje i procesforureningskontrol betyder noget, især når fremstilling af avancerede enheder krymper og renhedsparametre bliver strengere. Quartz Liquid Storage Tank garanterer, at FAB -operatører er overbeviste om, at affaldshåndtering ikke bliver en kilde til sekundær forurening. Ved at indeholde resterende rengøringsopløsninger eller overskydende procesvæsker forhindrer det opstrøms og nedstrøms arbejdsgange i at blive gyldigt udført. Derudover understøtter tanken en FABs bæredygtighedsmål, da indsamlede væsker kan behandles til reagensoprensning og genbrug, og dermed ved hjælp af en anden mindre kemisk-intensiv proces og resulterer i mindre miljømæssig belastning generelt.

Fra et praktisk synspunkt tillader design af kvarts flydende opbevaringstank det let at indarbejdes i våd rengøringshardware og kemiske styringssystemer. Formfaktoren kan tilpasses eksisterende værktøjskonfigurationer. Præcisionsfremstillingsmetoder sikrer de runde dimensioner, og at den glatte indvendige overflade let transporterer og opbevarer alle væsker i dit halvlederfabiske miljø. En ikke-porøs kvartsstruktur forhindrer absorption af forurenende stoffer og tillader rengøring af tanken, hvilket gør den i stand til genbrug, i modsætning til konventionelle plastbeholdere, der opererer i kemiske kontrollerede miljøer ved betydelige volumenoperationer.

Den nederste linje, Quartz Liquid Storage Tank er specielt designet til betydning i al halvleder våd rengørings- og belægningsapplikationer. Ved at skabe den bedst mulige materielle renhed, kemiske resistens og forureningsfri væskeopbevaring i en halvlederoperationel facilitet er FABS i stand til effektivt at kontrollere deres proces med lidt eller ingen overspænding af forurening. Uanset om en Fab bruger tanken til at modtage direkte affaldsindsamling, til genvinding af et reagens osv. Eller til urenhedsanalyse, forbliver historien om kritiske trin i processen i original tilstand uden at gå på kompromis med driften. Når du ønsker at maksimere udbyttet, minimere risikoen for din arbejdsproces for tab af stabilitet og maksimere effektiviteten af ​​kemisk styring af biprodukter, er Contamination Free Quartz det eneste valg, der tilbyder pålidelig ydelse med al din våde rengøring.