> Produkter > Siliciumcarbid belagt > RTP-bærer > RTP-bærer til MOCVD epitaksial vækst

Produkter

Nye produkter

RTP-bærer til MOCVD epitaksial vækst

Semicorex RTP Carrier til MOCVD Epitaxial Growth er ideel til halvlederwaferbehandlingsapplikationer, herunder epitaksial vækst og waferhåndteringsbehandling. Carbon grafit susceptorer og kvarts digler behandles af MOCVD på overfladen af grafit, keramik osv. Vores produkter har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner i Kina.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex leverer RTP Carrier til MOCVD Epitaxial Growth, der bruges til at understøtte wafers, som er virkelig stabil til RTA, RTP eller hård kemisk rengøring. Kernen i processen, epitaksi-susceptorerne, udsættes først for aflejringsmiljøet, så det har høj varme- og korrosionsbestandighed. Den SiC-belagte bærer har også en høj varmeledningsevne og fremragende varmefordelingsegenskaber.
Vores RTP-bærer til MOCVD epitaksial vækst er designet til at opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster, hvilket sikrer ensartet termisk profil. Dette hjælper med at forhindre enhver forurening eller diffusion af urenheder, hvilket sikrer epitaksial vækst af høj kvalitet på wafer-chippen.
Kontakt os i dag for at lære mere om vores RTP Carrier for MOCVD epitaksial vækst.

Parametre for RTP Carrier for MOCVD epitaksial vækst

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkts)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af RTP Carrier til MOCVD epitaksial vækst

SiC-belagt grafit med høj renhed
Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
Materiale er designet således, at der ikke opstår revner og delaminering.