Hjem > Produkter > Siliciumcarbid belagt > RTP-bærer > RTP grafitbærerplade
RTP grafitbærerplade

RTP grafitbærerplade

Semicorex's RTP Graphite Carrier Plate er den perfekte løsning til applikationer til behandling af halvlederwafere, herunder epitaksial vækst og waferhåndteringsbehandling. Vores produkt er designet til at tilbyde overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed, hvilket sikrer, at epitaksi-susceptorerne udsættes for aflejringsmiljøet med høj varme- og korrosionsbestandighed.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Vores produkt har høj renhed SiC-belagt grafit, som tilbyder fremragende varmefordelingsegenskaber, hvilket sikrer, at den SiC-belagte bærer har en glat overflade, fri for revner og delaminering. Vores RTP Graphite Carrier Plate er fint siliciumcarbidbelagt, hvilket sikrer, at overfladen er glat og fri for fejl. Dette produkt er meget holdbart mod hård kemisk rengøring og er designet til at sikre, at der ikke opstår revner og delaminering.
Vi tilbyder en prisfordel, som vores konkurrenter ikke kan matche, og vi er forpligtet til at blive din langsigtede partner i Kina.
Med vores RTP-grafitbærerplade kan du være sikker på fremragende ydeevne, overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed. Den SiC-belagte bærer er designet til at modstå høje temperaturer og er meget modstandsdygtig over for kemisk rengøring, hvilket sikrer, at den holder i mange år. Vores produkt er også designet til at være nemt at bruge, hvilket gør det ideelt for både nye og erfarne brugere.
Hos Semicorex er vi forpligtet til at levere produkter og tjenester af høj kvalitet til vores kunder. Vi bruger kun de bedste materialer, og vores produkter er designet til at opfylde de højeste standarder for kvalitet og ydeevne. Vores RTP Graphite Carrier Plate er ingen undtagelse. Kontakt os i dag for at lære mere om, hvordan vi kan hjælpe dig med dine behov for behandling af halvlederwafer.


Parametre for RTP Graphite Carrier Plate

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning

SiC-CVD egenskaber

Krystal struktur

FCC β-fase

Tæthed

g/cm³

3.21

Hårdhed

Vickers hårdhed

2500

Kornstørrelse

μm

2~10

Kemisk renhed

%

99.99995

Varmekapacitet

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimeringstemperatur

2700

Feleksural styrke

MPa (RT 4-punkts)

415

Youngs modul

Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)

430

Termisk udvidelse (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Termisk ledningsevne

(W/mK)

300


Funktioner af RTP Graphite Carrier Plate

SiC-belagt grafit med høj renhed
Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed
Fin SiC krystal belagt for en glat overflade
Høj holdbarhed mod kemisk rengøring
Materiale er designet således, at der ikke opstår revner og delaminering.





Hot Tags: RTP Graphite Carrier Plate, Kina, Producenter, Leverandører, Fabrik, Customized, Bulk, Avanceret, Holdbar
Relateret kategori
Send forespørgsel
Du er velkommen til at give din forespørgsel i nedenstående formular. Vi svarer dig inden for 24 timer.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept