Satellitplade

Semicorex -satellitplade er en vital Wafer -bærer under den epitaksiale vækstproces, der garanterer ensartet deponering og optimal proceseffektivitet. Konstrueret af grafit med høj renhed og belagt med et robust siliciumcarbid (SIC) lag, leverer denne plade enestående termisk stabilitet, kemisk resistens og mekanisk styrke, hvilket størkner sin position som en uundværlig komponent i produktion af højpresterende halvleder.

Med en grafitbase med høj renhed udmærker satellitpladen sig i termisk ledningsevne og strukturel integritet. DeSic coatingøger sin holdbarhed markant, hvilket giver høj temperaturresistens, kemisk inertitet og dramatisk reduktion af partikelgenerering. Denne kraftfulde kombination sikrer, at pladen udholder barske forarbejdningsbetingelser, mens den konsekvent udføres på et højt niveau. Grafitbasen letter effektiv varmeoverførsel, hvilket sikrer ensartet temperaturfordeling over skiven, mens SIC -belægningen beskytter mod ætsende procesgasser, hvilket forhindrer kontaminering og forlængelse af levetiden. Derudover minimerer SIC-overfladen partikelfrigivelse, som er kritisk for at opnå højudbytte halvlederfremstilling.

Satellitpladen er designet specifikt til problemfri integration med Aixtron G5+ -systemer og garanterer præcis wafer -positionering og rotationsbalance, der er essentiel for at opretholde stabile termiske forhold og reducere defekthastigheder. Den avancerede materialesammensætning af pladen udvider ikke kun sin levetid, men sænker også markant driftsomkostninger markant og forbedrer produktionsproduktiviteten.

Primært anvendt i metal -organisk kemisk dampaflejring (MOCVD) -proces er satellitpladen afgørende for voksende epitaksiale lag på halvlederskiver. Det spiller en nøglerolle i produktionen af ​​avancerede halvlederenheder, herunder LED'er, SIC og GAN-baserede kraftelektronik, fotoniske og optoelektroniske komponenter og højfrekvente RF-enheder. Ved at sikre stabile termiske forhold og minimere kontaminering garanterer satellitpladen ensartet epitaksial lagvækst, hvilket fører til forbedret waferhåndtering og højere udbyttehastigheder. Dens optimerede design sikrer Wafer -understøttelse effektivt, reducerer defekter og sikrer præcision i hele halvlederforarbejdningsstadierne.

Semicorex -satellitplade fungerer som en væsentlig komponent for Aixtron G5+ epitaxy -reaktorer, hvilket giver uovertruffen holdbarhed, kemisk modstand og termisk ydeevne. Dens avancerede materialesammensætning og teknik gør det kritisk for halvlederproduktionsprocessen, hvilket sikrer produktion af skiver af høj udbytte og høj kvalitet. Invester i satellitpladen for at hæve din halvlederfremstilling og opnå ekspertise i epitaksiale vækstprocesser.