SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD

Semicorex er en storstilet producent og leverandør af siliciumcarbidbelagt grafitsusceptor i Kina. Vi fokuserer på halvlederindustrier såsom siliciumcarbidlag og epitaksihalvleder. Vores SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD har en god prisfordel og dækker mange af de europæiske og amerikanske markeder. Vi ser frem til at blive din langsigtede partner.

Send forespørgsel

Produkt beskrivelse

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor for MOCVD er en højrent siliciumcarbid-coated grafitbærer, der i processen bruges til at dyrke det epiksiale lag på wafer-chippen. Det er midterpladen i MOCVD, formen af gear eller ring. SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD har høj varme- og korrosionsbestandighed, som har stor stabilitet i ekstreme miljøer.
Hos Semicorex er vi forpligtet til at levere produkter og tjenester af høj kvalitet til vores kunder. Vi bruger kun de bedste materialer, og vores produkter er designet til at opfylde de højeste standarder for kvalitet og ydeevne. Vores SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD er ingen undtagelse. Kontakt os i dag for at lære mere om, hvordan vi kan hjælpe dig med dine behov for behandling af halvlederwafer.

Parametre for SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning
SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur	FCC β-fase
Tæthed	g/cm³	3.21
Hårdhed	Vickers hårdhed	2500
Kornstørrelse	μm	2~10
Kemisk renhed	%	99.99995
Varmekapacitet	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimeringstemperatur	℃	2700
Feleksural styrke	MPa (RT 4-punkt)	415
Youngs modul	Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃)	430
Termisk udvidelse (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Termisk ledningsevne	(W/mK)	300

Funktioner af SiC Coated Graphite Susceptor til MOCVD

- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader
Højtemperaturoxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C
Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.
Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.
- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster
- Garanterer ensartethed af termisk profil
- Undgå enhver forurening eller diffusion af urenheder