SiC Coated ICP Etching Carrier

Waferbærere, der anvendes i tyndfilmaflejringsfaser såsom epitaksi eller MOCVD, eller waferhåndteringsbehandling såsom ætsning skal tåle høje temperaturer og hård kemisk rensning. Semicorex leverer højrenhed SiC Coated ICP Etching Carrier giver overlegen varmebestandighed, ensartet termisk ensartethed for ensartet epilags tykkelse og modstand og holdbar kemisk resistens. Fin SiC-krystalbelægning giver en ren, glat overflade, som er afgørende for håndtering, da uberørte wafere kommer i kontakt med susceptoren på mange punkter i hele deres område.

Vores SiC Coated ICP Etching Carrier er designet til at opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster, hvilket sikrer ensartet termisk profil. Dette hjælper med at forhindre enhver forurening eller diffusion af urenheder, hvilket sikrer epitaksial vækst af høj kvalitet på wafer-chippen.

Kontakt os i dag for at lære mere om vores SiC Coated ICP Etching Carrier.

Parametre for SiC Coated ICP Etching Carrier

Funktioner af høj renhed SiC Coated ICP Etching Carrier

- Undgå at skalle af og sørg for belægning på alle overflader

Højtemperaturoxidationsbestandighed: Stabil ved høje temperaturer op til 1600°C

Høj renhed: Fremstillet af CVD kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.

Korrosionsbestandighed: høj hårdhed, tæt overflade og fine partikler.

Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

- Opnå det bedste laminære gasstrømningsmønster

- Garanterer ensartethed af termisk profil

- Undgå enhver forurening eller diffusion af urenheder