Sic coated plade

Semicorex Sic Coated Plate er en konstrueret højtydende komponent, der er specifikt designet til epitaksiale (EPI) vækstudstyr, der kræver stabile underlag med høj renhed for at skabe film af høj kvalitet. Det er en højstyrke grafitkerne, ensartet og tæt coatet med siliciumcarbid (SIC), der opnå den uovertrufne termiske og mekaniske resistivitet af grafit med høj styrke kombineret med den kemiske stabilitet og overfladedagbarhed af SIC. Semicorex -sic -coatet plade er bygget til at opretholde de ekstreme strengheder i de epitaksiale processer til sammensatte halvledere inklusive SIC og GaN.

Grafitkernen i den sic coatede plade har enestående termisk ledningsevne, lav densitet og overlegen termisk stødmodstand. Den moderat lave termiske masse af grafitkernen, der er afbalanceret med fremragende termisk ledningsevne, giver mulighed for en hurtig fordeling af varmen jævnt i en proces, hvor temperaturcyklusser finder sted i høje hastigheder. Det ydre lag af SIC deponeret ved kemisk dampaflejring (CVD) tilbyder en beskyttende barriere, der øger hårdhed, korrosionsbestandighed og kemisk inerthed, hvilket giver øjeblikkelig værdi til at begrænse eller forhindre partikelgenerering. Denne faste elementære overflade kombineret med de fysiske egenskaber ved grafitbasen sikrer et meget høj renhedsprocesmiljø med meget lidt eller ingen risiko for defektgenerering på de epitaksiale lag.

Dimensionel præcision og overfladet fladhed er også vigtige egenskaber ved den sic coatede plade. Hver plade er bearbejdet og belagt med stramme tolerancer for at sikre ensartethed og gentagelighed i procesydelse. De glatte og inerte overflade reducerer nucleationssteder for uønsket filmaflejring og forbedrer skivens ensartethed på tværs af pladeoverfladen.

I epitaksiale reaktorer implementeres den SIC -coatede plade typisk som en følsomhed, foring eller et termisk skjold for at give struktur og udføre som et varmeoverførselsmedium til skiven, der behandles. Stabil ydeevne påvirker direkte krystalkvalitet, udbytte og produktivitet.